[發(fā)明專利]一種用于拉曼光譜法測量晶圓殘余應(yīng)力的精確定位工具-定位儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410264263.3
• 申請日: 2014-06-13
• 公開（公告）號: CN104034662A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 秦飛;任超;孫敬龍;安彤;王仲康;唐亮
• 申請（專利權(quán)）人: 北京工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/65;G01L1/24
• 代理公司: 北京思海天達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203
• 代理人: 劉萍

1.一種用于拉曼光譜法測量晶圓殘余應(yīng)力的精確定位工具-定位儀，其特征在于：包括滑軌及轉(zhuǎn)塢部分、伸縮臂部分和角度測量部分；

滑軌及轉(zhuǎn)塢部分包括帶有刻度的滑軌和轉(zhuǎn)塢兩個構(gòu)件；其中滑軌上刻出通孔槽，通孔槽沿著滑軌長度方向；滑軌是一個細(xì)長桿，將其一端加工成針尖形狀，作為指示角度的指針使用；滑軌卡在轉(zhuǎn)塢的凹槽中，滑軌能夠沿著轉(zhuǎn)塢的凹槽滑動；

轉(zhuǎn)塢位于定位儀中心，轉(zhuǎn)塢下方設(shè)有轉(zhuǎn)塢軸，轉(zhuǎn)塢能夠繞著轉(zhuǎn)塢軸轉(zhuǎn)動；所述伸縮臂部分包括兩個帶有齒輪的伸縮桿、一個和轉(zhuǎn)塢嵌套的轉(zhuǎn)塢殼、一個通過轉(zhuǎn)塢軸嵌套在轉(zhuǎn)塢殼內(nèi)部的齒輪、以及一個固定支撐桿；在同一水平面上的兩個伸縮桿輪齒與轉(zhuǎn)塢殼內(nèi)部的齒輪進(jìn)行嚙合；轉(zhuǎn)塢殼設(shè)計為中空圓柱，上表面預(yù)留一個與轉(zhuǎn)塢軸相配合的圓孔，轉(zhuǎn)塢軸通過此孔插入到轉(zhuǎn)塢殼內(nèi)部的齒輪中間的孔中；固定臂垂直于兩條伸縮桿，且不能伸縮，與轉(zhuǎn)塢殼固定在一起，所述角度測量部分包括一個測角儀，測角儀固定在轉(zhuǎn)塢殼及固定臂上。

2.如權(quán)利要求1所述定位儀，滑軌與滑軌槽的截面形狀均為梯形。