[發(fā)明專利]一種等離子體負(fù)載電路自動(dòng)控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410261401.2
• 申請(qǐng)日: 2014-06-12
• 公開（公告）號(hào): CN104063005A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭承堯;賈華;朱梁;單家芳;劉甫坤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 單家芳;劉甫坤
• 主分類號(hào): G05F1/66
• 分類號(hào): G05F1/66
• 代理公司: 安徽合肥華信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112
• 代理人: 方琦

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及等離子體負(fù)載控制方法領(lǐng)域，具體是一種等離子體負(fù)載電路自動(dòng)控制方法。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的自動(dòng)控制技術(shù)是利用外加的控制裝置，使控制對(duì)象的某個(gè)工作狀態(tài)或參數(shù)自動(dòng)地按照預(yù)定的規(guī)律運(yùn)行。但是對(duì)于控制對(duì)象是接有等離子體負(fù)載的電路，由于等離子體的不穩(wěn)定性，電路的多個(gè)參數(shù)都處于不斷變化之中，電路的運(yùn)行規(guī)律也會(huì)發(fā)生變化。這時(shí)，就無法給電路預(yù)先設(shè)定一個(gè)運(yùn)行規(guī)律。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種等離子體負(fù)載電路自動(dòng)控制方法，以解決現(xiàn)有自動(dòng)控制技術(shù)無法適用于接有等離子體負(fù)載電路的問題。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：

一種等離子體負(fù)載電路自動(dòng)控制方法，其特征在于：采用微控制器，所述微控制器通過兩路彼此獨(dú)立的數(shù)模轉(zhuǎn)換通道分別調(diào)節(jié)等離子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值和入射功率設(shè)定值，微控制器還通過兩路彼此獨(dú)立的模數(shù)轉(zhuǎn)換通道分別采集等離子體負(fù)載電路的入射功率測(cè)量值和反射功率測(cè)量值，依次包括以下步驟：

（1）、在微控制器中寫入等離子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值和入射功率設(shè)定值的初始值，微控制器通過兩路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道分別調(diào)節(jié)等離子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值和入射功率設(shè)定值為初始值；

（2）、微控制器通過第二路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道固定等離子體負(fù)載電路的入射功率設(shè)定值為初始值不變，并通過第一路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道改變等離子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值，同時(shí)微控制器通過第二路模數(shù)轉(zhuǎn)換通道采集當(dāng)?shù)入x子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值改變時(shí)，等離子體負(fù)載電路對(duì)應(yīng)的反射功率測(cè)量值；

（3）、微控制器通過比較算法，找出步驟（2）中采集到的各個(gè)反射功率測(cè)量值的最小值，并通過第一路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道將等離子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值調(diào)節(jié)并固定為反射功率測(cè)量值為最小值時(shí)對(duì)應(yīng)的輸入相位設(shè)定值；

（4）、微控制器通過第二路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道調(diào)節(jié)等離子體負(fù)載電路的入射功率設(shè)定值至等離子體負(fù)載電路的啟動(dòng)功率值，并延時(shí)一段時(shí)間；

（5）、微控制器通過第二路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道固定等離子體負(fù)載電路的入射功率設(shè)定值為啟動(dòng)功率值不變，并通過第一路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道改變等離子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值，同時(shí)微控制器再次通過第二路模數(shù)轉(zhuǎn)換通道采集當(dāng)?shù)入x子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值改變時(shí)，等離子體負(fù)載電路對(duì)應(yīng)的反射功率測(cè)量值；

（6）、微控制器通過比較算法，找出步驟（5）中采集到的各個(gè)反射功率測(cè)量值的最小值，并通過第一路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道將等離子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值調(diào)節(jié)并固定為此時(shí)反射功率測(cè)量值為最小值時(shí)對(duì)應(yīng)的輸入相位設(shè)定值；

（7）、微控制器通過兩路模數(shù)轉(zhuǎn)換通道采集此時(shí)等離子體負(fù)載電路的入射功率測(cè)量值和反射功率測(cè)量值，并判斷入射功率測(cè)量值與反射功率測(cè)量值的差值是否小于預(yù)設(shè)在微控制器中的額定功率值，如果大于該額定功率值，則延時(shí)一段時(shí)間后，重新從步驟（5）開始重復(fù)過程，如果小于該額定功率值，則微控制器通過第二路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道調(diào)節(jié)增大等離子體負(fù)載電路的入射功率設(shè)定值，直至入射功率測(cè)量值與反射功率測(cè)量值的差值大于該額定功率值。

本發(fā)明的有益效果是，可以對(duì)等離子體負(fù)載電路實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，確保等離子體負(fù)載電路的反射功率最小，等離子體負(fù)載電路吸收的功率最大。

附圖說明

圖1為本發(fā)明所采用裝置的原理框圖。

圖2為本發(fā)明方法的流程圖。

具體實(shí)施方式

參見圖1、圖2所示，一種等離子體負(fù)載電路自動(dòng)控制方法，采用微控制器，微控制器通過兩路彼此獨(dú)立的數(shù)模轉(zhuǎn)換通道DAC1、DAC2分別調(diào)節(jié)等離子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值和入射功率設(shè)定值，微控制器還通過兩路彼此獨(dú)立的模數(shù)轉(zhuǎn)換通道ADC1、ADC2采集等離子體負(fù)載電路的入射功率測(cè)量值和反射功率測(cè)量值，依次包括以下步驟：

（1）、在微控制器中寫入等離子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值和入射功率設(shè)定值的初始值，微控制器通過兩路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道分別調(diào)節(jié)等離子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值和入射功率設(shè)定值為初始值；

（2）、微控制器通過第二路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道DAC2固定等離子體負(fù)載電路的入射功率設(shè)定值為初始值不變，并通過第一路數(shù)模轉(zhuǎn)換通道DAC1改變等離子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值，同時(shí)微控制器通過第二路模數(shù)轉(zhuǎn)換通道ADC2采集當(dāng)?shù)入x子體負(fù)載電路的輸入相位設(shè)定值改變時(shí)，等離子體負(fù)載電路對(duì)應(yīng)的反射功率測(cè)量值；