[發明專利]一種等離子體負載電路自動控制方法

有效

• 申請號: 201410261401.2
• 申請日: 2014-06-12
• 公開（公告）號: CN104063005A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 彭承堯;賈華;朱梁;單家芳;劉甫坤
• 申請（專利權）人: 單家芳;劉甫坤
• 主分類號: G05F1/66
• 分類號: G05F1/66
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 方琦

1.一種等離子體負載電路自動控制方法，其特征在于：采用微控制器，所述微控制器通過兩路彼此獨立的數模轉換通道分別調節等離子體負載電路的輸入相位設定值和入射功率設定值，微控制器還通過兩路彼此獨立的模數轉換通道分別采集等離子體負載電路的入射功率測量值和反射功率測量值，依次包括以下步驟：

（1）、在微控制器中寫入等離子體負載電路的輸入相位設定值和入射功率設定值的初始值，微控制器通過兩路數模轉換通道分別調節等離子體負載電路的輸入相位設定值和入射功率設定值為初始值；

（2）、微控制器通過第二路數模轉換通道固定等離子體負載電路的入射功率設定值為初始值不變，并通過第一路數模轉換通道改變等離子體負載電路的輸入相位設定值，同時微控制器通過第二路模數轉換通道采集當等離子體負載電路的輸入相位設定值改變時，等離子體負載電路對應的反射功率測量值；

（3）、微控制器通過比較算法，找出步驟（2）中采集到的各個反射功率測量值的最小值，并通過第一路數模轉換通道將等離子體負載電路的輸入相位設定值調節并固定為反射功率測量值為最小值時對應的輸入相位設定值；

（4）、微控制器通過第二路數模轉換通道調節等離子體負載電路的入射功率設定值至等離子體負載電路的啟動功率值，并延時一段時間；

（5）、微控制器通過第二路數模轉換通道固定等離子體負載電路的入射功率設定值為啟動功率值不變，并通過第一路數模轉換通道改變等離子體負載電路的輸入相位設定值，同時微控制器再次通過第二路模數轉換通道采集當等離子體負載電路的輸入相位設定值改變時，等離子體負載電路對應的反射功率測量值；

（6）、微控制器通過比較算法，找出步驟（5）中采集到的各個反射功率測量值的最小值，并通過第一路數模轉換通道將等離子體負載電路的輸入相位設定值調節并固定為此時反射功率測量值為最小值時對應的輸入相位設定值；

（7）、微控制器通過兩路模數轉換通道采集此時等離子體負載電路的入射功率測量值和反射功率測量值，并判斷入射功率測量值與反射功率測量值的差值是否小于預設在微控制器中的額定功率值，如果大于該額定功率值，則延時一段時間后，重新從步驟（5）開始重復過程，如果小于該額定功率值，則微控制器通過第二路數模轉換通道調節增大等離子體負載電路的入射功率設定值，直至入射功率測量值與反射功率測量值的差值大于該額定功率值。