[發明專利]一種制備氮化鋁納米管陣列的方法無效
| 申請號： | 201410258247.3 | 申請日： | 2014-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN104016315A | 公開（公告）日： | 2014-09-03 |
| 發明（設計）人： | 吳志國;季旭;胡海蓉;張偉博;閆鵬勛 | 申請（專利權）人： | 蘭州大學 |
| 主分類號： | C01B21/072 | 分類號： | C01B21/072;B82Y40/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知識產權代理有限公司 11249 | 代理人： | 陸菊華 |
| 地址： | 730000 甘肅*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制備 氮化 納米 陣列 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備氮化鋁納米管陣列的方法，包括如下步驟，
(1)抽真空；?
(2)氨氣以及氯化鋁于150～200℃蒸發產生的蒸氣在載氣的作用下混合流過溫度為750～850℃的生長襯底表面，混合流過40-60min后，即在生長襯底上得到氮化鋁納米管陣列。
2.根據權利要求1所述制備氮化鋁納米管陣列的方法，其特征在于，所述氨氣的流量為10-20sccm。
3.根據權利要求1所述制備氮化鋁納米管陣列的方法，其特征在于，所述載氣的流量為110-120sccm。
4.根據權利要求1所述制備氮化鋁納米管陣列的方法，其特征在于，步驟(2)混合流過時，氣體的壓力為120-200Pa。
5.根據權利要求1或3所述制備氮化鋁納米管陣列的方法，其特征在于，所述載氣為氬氣。
6.根據權利要求1所述制備氮化鋁納米管陣列的方法，其特征在于，所述生長襯底為硅片、不銹鋼片、銅網、藍寶石或碳化硅。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于蘭州大學，未經蘭州大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410258247.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
