[發(fā)明專利]用于集成無源器件的測試板以及測試方案

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410256680.3
• 申請日: 2014-06-10
• 公開（公告）號: CN105203852B
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜天敏;陸原;劉豐滿
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所;華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司
• 主分類號: G01R27/26
• 分類號: G01R27/26;G01R27/02
• 代理公司: 北京藍(lán)智輝煌知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11345
• 代理人: 陳紅

1.一種用于集成無源器件的測試板，包括測試結(jié)構(gòu)和校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)與所述測試結(jié)構(gòu)位于同一塊PCB板上，并且與所述測試結(jié)構(gòu)的布局相同，所述校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)包括開路校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)和短路校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，所述短路校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的端子之間具有短路布線，其中，所述測試結(jié)構(gòu)包括第一端子、第二端子以及第一互連布線，所述第二端子位于所述第一端子外圍、并且通過所述互連布線與所述第一端子電連接，所述校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)包括第三端子、第四端子以及第二互連布線，所述第三端子和第四端子的相對位置關(guān)系、與所述第一端子和第二端子的相對位置關(guān)系相同，所述第二互連布線與所述第一互連布線長度以及方向相同。

2.如權(quán)利要求1所述的用于集成無源器件的測試板，其中，所述校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)位于所述測試板的角落或者側(cè)邊處，或者與所述測試結(jié)構(gòu)間隔排列。

3.如權(quán)利要求1所述的用于集成無源器件的測試板，其中，所述校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)與所述測試結(jié)構(gòu)的形成工藝以及材料相同。

4.一種用于集成無源器件的測試系統(tǒng)，包括：

測試板，包括測試結(jié)構(gòu)和校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，所述校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)位于所述測試結(jié)構(gòu)周圍、并且與所述測試結(jié)構(gòu)的布局相同，所述校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)包括開路校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)和短路校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，所述短路校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的端子之間具有短路布線；

測試儀，通過電纜和探針與所述測試板電連接；

待測的集成無源器件，通過所述測試結(jié)構(gòu)與所述測試板電連接，

其中，所述測試結(jié)構(gòu)包括第一端子、第二端子以及第一互連布線，所述校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)包括第三端子、第四端子以及第二互連布線，所述第三端子和第四端子的相對位置關(guān)系、與所述第一端子和第二端子的相對位置關(guān)系相同，所述第二互連布線與所述第一互連布線長度以及方向相同。

5.如權(quán)利要求4所述的用于集成無源器件的測試系統(tǒng)，其中，所述測試儀倒裝安裝在所述測試板的測試結(jié)構(gòu)上。