[發明專利]一種收集裝置

有效

• 申請號: 201410256493.5
• 申請日: 2014-06-10
• 公開（公告）號: CN104018122A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 肖昂
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種收集裝置，其特征在于，所述收集裝置包括：收集板，其中：

所述收集板包括：一非水平設置的第一面板、一水平設置的第二面板和一非水平設置的第三面板；

所述第一面板的上面的邊與所述第二面板的第一邊連接，所述第二面板的第二邊與所述第三面板的上面的邊連接；所述第一面板與所述第三面板不接觸；

所述收集板，用于當線性蒸發源處于預蒸發階段和兩個基板切換的空白階段時，阻擋所述線性蒸發源蒸發出的蒸鍍材料噴射到蒸鍍腔室上。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述收集板還包括：一非水平設置的第四面板和一非水平設置的第五面板，其中：

所述第四面板的第一邊與所述第一面板的側面的一個邊連接，所述第四面板的第二邊與所述第二面板的第三邊連接，所述第四面板的第三邊與所述第三面板的側面的一個邊連接；

所述第五面板的第一邊與所述第一面板的側面的另一個邊連接，所述第五面板的第二邊與所述第二面板的第四邊連接，所述第五面板的第三邊與所述第三面板的側面的另一個邊連接。

3.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述收集裝置還包括：收集網板，所述收集網板固定在所述收集板的下方，其中：

所述收集網板包括：一非水平設置的第一網格面板、一水平設置的第二網格面板和一非水平設置的第三網格面板；

所述第一網格面板的上面的邊與所述第二網格面板的第一邊連接，所述第二網格面板的第二邊與所述第三網格面板的上面的邊連接；所述第一網格面板與所述第三網格面板不接觸；

所述收集網板中的每個網格面板中的形狀呈細密網格狀，所述收集網板用于當線性蒸發源處于預蒸發階段和兩個基板切換的空白階段時，收集所述線性蒸發源蒸發出的蒸鍍材料。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述收集網板還包括：一非水平設置的第四網格面板和一非水平設置的第五網格面板，其中：

所述第四網格面板的第一邊與所述第一網格面板的側面的一個邊連接，所述第四網格面板的第二邊與所述第二網格面板的第三邊連接，所述第四網格面板的第三邊與所述第三網格面板的側面的一個邊連接；

所述第五網格面板的第一邊與所述第一網格面板的側面的另一個邊連接，所述第五網格面板的第二邊與所述第二網格面板的第四邊連接，所述第五網格面板的第三邊與所述第三網格面板的側面的另一個邊連接。

5.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述收集裝置還包括：一水平設置的直桿和驅動設備，其中：

所述直桿的一端與所述第一面板的第四邊連接，所述直桿的另一端與所述驅動設備的輸出端連接；

所述驅動設備用于根據接收到的控制信號通過所述直桿控制所述收集板在所述線性蒸發源處于預蒸發階段和兩個基板切換的空白階段時伸出至所述線性蒸發源的上方，否則收回。

6.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述收集裝置還包括：一水平設置的直桿和驅動設備，其中：

所述直桿的一端與所述第一面板的第四邊連接，所述直桿的另一端與所述驅動設備的輸出端連接；

所述驅動設備用于根據接收到的控制信號通過所述直桿控制所述收集板和所述收集網板在所述線性蒸發源處于預蒸發階段和兩個基板切換的空白階段時伸出至所述線性蒸發源的上方，否則收回。

7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，

所述控制信號是通過紅外感應器感應所述線性蒸發源上方有無基板通過來產生的。

8.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，

所述控制信號是通過激光感應器感應所述線性蒸發源上方有無基板通過來產生的。

9.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，

在所述線性蒸發源對所述基板進行蒸鍍時，所述線性蒸發源靜止不動，基板以一定的速度移動通過所述線性蒸發源的上方。