[發明專利]一種收集裝置有效
| 申請號: | 201410256493.5 | 申請日: | 2014-06-10 |
| 公開(公告)號: | CN104018122A | 公開(公告)日: | 2014-09-03 |
| 發明(設計)人: | 肖昂 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 收集 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及有機發光二極管面板制造技術領域,尤其涉及一種收集裝置。
背景技術
現有技術方案有機發光二極管(Organic?Light?Emitting?Diode,簡稱OLED)面板的生產中,通常采用蒸鍍工藝使發光材料附著到需要的基板上。蒸鍍工藝一般是在蒸鍍腔室里完成。現有的蒸鍍腔室中基板的受蒸鍍面向下吸附在頂部基臺上,掩模框架攜帶掩膜板位于線性蒸發源和基板之間。蒸鍍前,需要先進行線性蒸發源的預蒸,使線性蒸發源的蒸鍍速度達到目標蒸鍍速率;蒸鍍時,基板和掩膜板的位置固定,線性蒸發源沿一個方向平行基板和掩膜板移動掃描,完成對整張基板的蒸鍍。
但是,由于現有技術方案在預蒸的過程中,線性蒸發源仍然在向外界蒸發發光材料,這樣會出現發光材料被蒸發到腔室內壁的問題,造成發光材料的浪費。蒸鍍過程中兩張基板轉換過程中有空白期,同樣會出現發光材料被蒸發到腔室內壁的問題。同時,現有技術方案中通過線性蒸發源的移動完成對基板的蒸鍍,由于線性蒸發源在移動過程中的震動,會出現蒸鍍到基板上的材料厚度不均一的問題。
發明內容
本發明的實施例提供一種收集裝置,解決了現有技術方案在給基板蒸鍍發光材料時,由于蒸鍍過程中自身存在的問題而出現的材料蒸鍍到蒸鍍腔室上和蒸鍍到基板上的材料厚度不均一的問題,極大的減少了材料的浪費,降低了生產成本。同時提高了得到的產品的穩定性,提高了生產效率。
為達到上述目的,本發明的實施例采用如下技術方案:
一方面,提供一種收集裝置,所述收集裝置包括:收集板,其中:
所述收集板包括:一非水平設置的第一面板、一水平設置的第二面板和一非水平設置的第三面板;
所述第一面板的上面的邊與所述第二面板的第一邊連接,所述第二面板的第二邊與所述第三面板的上面的邊連接;所述第一面板與所述第三面板不接觸;
所述收集板,用于當線性蒸發源處于預蒸發階段和兩個基板切換的空白階段時,阻擋所述線性蒸發源蒸發出的蒸鍍材料噴射到蒸鍍腔室上。
可選的,所述收集板還包括:一非水平設置的第四面板和一非水平設置的第五面板,其中:
所述第四面板的第一邊與所述第一面板的側面的一個邊連接,所述第四面板的第二邊與所述第二面板的第三邊連接,所述第四面板的第三邊與所述第三面板的側面的一個邊連接;
所述第五面板的第一邊與所述第一面板的側面的另一個邊連接,所述第五面板的第二邊與所述第二面板的第四邊連接,所述第五面板的第三邊與所述第三面板的側面的另一個邊連接。
可選的,所述收集裝置還包括:收集網板,所述收集網板固定在所述收集板的下方,其中:
所述收集網板包括:一非水平設置的第一網格面板、一水平設置的第二網格面板和一非水平設置的第三網格面板;
所述第一網格面板的上面的邊與所述第二網格面板的第一邊連接,所述第二網格面板的第二邊與所述第三網格面板的上面的邊連接;所述第一網格面板與所述第三網格面板不接觸;
所述收集網板中的每個網格面板中的形狀呈細密網格狀,所述收集網板用于當線性蒸發源處于預蒸發階段和兩個基板切換的空白階段時,收集所述線性蒸發源蒸發出的蒸鍍材料。
可選的,所述收集網板還包括:一非水平設置的第四網格面板和一非水平設置的第五網格面板,其中:
所述第四網格面板的第一邊與所述第一網格面板的側面的一個邊連接,所述第四網格面板的第二邊與所述第二網格面板的第三邊連接,所述第四網格面板的第三邊與所述第三網格面板的側面的一個邊連接;
所述第五網格面板的第一邊與所述第一網格面板的側面的另一個邊連接,所述第五網格面板的第二邊與所述第二網格面板的第四邊連接,所述第五網格面板的第三邊與所述第三網格面板的側面的另一個邊連接。
可選的,所述收集裝置還包括:一水平設置的直桿和驅動設備,其中:
所述直桿的一端與所述第一面板的第四邊連接,所述直桿的另一端與所述驅動設備的輸出端連接;
所述驅動設備用于根據接收到的控制信號通過所述直桿控制所述收集板在所述線性蒸發源處于預蒸發階段和兩個基板切換的空白階段時伸出至所述線性蒸發源的上方,否則收回。
可選的,所述收集裝置還包括:一水平設置的直桿和驅動設備,其中:
所述直桿的一端與所述第一面板的第四邊連接,所述直桿的另一端與所述驅動設備的輸出端連接;
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