[發明專利]一種引線框架鍍銅方法及引線框架、引線框架排有效
| 申請號: | 201410250793.2 | 申請日: | 2014-06-06 |
| 公開(公告)號: | CN104112705B | 公開(公告)日: | 2017-06-13 |
| 發明(設計)人: | 鄭康定;曹光偉;馮小龍;段華平;馬葉軍 | 申請(專利權)人: | 寧波康強電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/768 | 分類號: | H01L21/768;H01L23/495 |
| 代理公司: | 寧波市鄞州盛飛專利代理事務所(普通合伙)33243 | 代理人: | 張向飛 |
| 地址: | 315100 浙江省寧*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 引線 框架 鍍銅 方法 | ||
1.一種引線框架鍍銅方法,所述引線框架基體由鋁合金制成,其特征在于:所述鍍銅方法包括步驟:
S1:脫脂去油,藥水成分及含量:
氫氧化鈉:45%,偏硅酸鈉:40%,除油劑:40g/L,在50℃-70℃進行脫脂去油;
S2:預鍍:電鍍液配方及含量為:
硫酸鎳:700g/L,硫酸鈉:10g/L,氯化鎳:25g/L,氯化鈉:5g/L;
電鍍參數為:溫度:90℃,電流密度:170A/dm2,電鍍液pH:4;
S3:鍍銅:電鍍液配方及含量為:
硫酸銅:150g/L,氯化銅:30g/L,鹽酸:40mol/L,銅光亮劑:0.3g/L;
其中所述鋁合金按照質量百分比包括:鎂:1.5%、硅:0.8%、銅:0.2%、錳:0.2%、鉻:0.3%、鋯:0.25%,余量為鋁以及不可避免的雜質;
在步驟S1和S2之間還包括浸鋅步驟,所述浸鋅步驟包括:
一次浸鋅步驟:將去油后的鋁合金基體放入鋅離子濃度為45g/L,三氧化鐵濃度為70g/L,氫氧化鈉濃度為250g/L的混合溶液中浸鋅,浸鋅溫度60℃;而后再用溫度為50℃的清水洗滌;
一次酸洗步驟:將一次浸鋅后的鋁合金基體放入濃度為100g/L,溫度為40℃的硝酸溶液酸洗;
二次浸鋅步驟:將酸洗后的鋁合金基體放入每升含有400克氧化鐵,75克氫氧化鈉的混合液中二次浸鋅,混合液溫度為60℃;
二次酸洗步驟:將二次浸鋅后的鋁合金基體放入濃度為750g/L的硝酸溶液中二次酸洗,酸洗時間25分鐘,酸洗溫度55℃;
三次浸鋅步驟:將二次酸洗后的鋁合金基體放入鋅離子濃度為25g/L的溶液中三次浸鋅,三次浸鋅溫度25℃;
抗氧化處理;將鍍銅后的引線框架放入苯并三氮唑濃度為1g/L,硫酸鋅濃度為0.6g/L,硫基苯并噻唑濃度為2g/L的混合液中處理5-10分鐘。
2.根據權利要求1所述的引線框架鍍銅方法,其特征在于:鍍鋅層厚度為0.1-0.5微米,鍍鎳層厚度為0.2-3微米,鍍銅層厚度為3-20微米。
3.一種由權利要求1或2所述的引線框架鍍銅方法制得的引線框架,其特征在于:包括芯片座和分布在所述芯片座一側的多根引線,所述多根引線包括芯片引線和接腳引線,所述芯片引線與所述芯片座連接,所述接腳引線與所述芯片座斷開,所述多根引線為片狀并在同一平面上,所述芯片座為片狀且與所述引線所在平面平行而不共面。
4.根據權利要求3所述的引線框架,其特征在于:所述多根引線相互平行。
5.一種引線框架排,其特征在于:為一金屬條中沖壓或蝕刻形成的多個依次連接的權利要求3或4所述的引線框架,每個連接片一側與芯片座的另一側連接,多個連接片前后相接成一排。
6.如權利要求5所述的引線框架排,其特征在于:每個所述連接片與所述引線框架的芯片座相接,且相接處的表面刻有至少一道槽,所述槽延伸至相接處的整個延伸長度。
7.如權利要求6所述的引線框架排,其特征在于所述槽的深度大于所述連接片厚度的十分之一。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





