[發明專利]一種用于芯片制程中的防堵管道在審
| 申請號： | 201410242909.8 | 申請日： | 2014-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN104014564A | 公開（公告）日： | 2014-09-03 |
| 發明（設計）人： | 何光寧 | 申請（專利權）人： | 何光寧 |
| 主分類號： | B08B9/027 | 分類號： | B08B9/027;B08B7/02 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人： | 張艷美;郝傳鑫 |
| 地址： | 523000 廣東省東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 芯片 中的 管道 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于芯片制程中的防堵管道，包括與入風口、出風口、與出風口、入風口相連接的硬質管道本體，和將管道本體鏈接于所述出風口、與出風口的鏈接軟管；其特征在于：所述硬質管道本體外側設有震動裝置。
2.根據權利要求1所述的防堵管道，其特征在于：所述震動裝置為震動馬達。
3.根據權利要求1所述的防堵管道，其特征在于：所述震動裝置為超聲馬達。
4.根據權利要求1-3中任意一項所述的防堵管道，其特征在于：硬質管道本體內側還設有可抽取式內套管。
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