[發明專利]三氯氫硅的提純方法有效
| 申請號: | 201410241206.3 | 申請日: | 2014-05-30 |
| 公開(公告)號: | CN104003402A | 公開(公告)日: | 2014-08-27 |
| 發明(設計)人: | 姜利霞;嚴大洲;楊永亮;肖榮暉;湯傳斌 | 申請(專利權)人: | 中國恩菲工程技術有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/107 | 分類號: | C01B33/107 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 吳貴明;張永明 |
| 地址: | 100036*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 三氯氫硅 提純 方法 | ||
1.一種三氯氫硅的提純方法,其特征在于,包括以下步驟:
將三氯氫硅粗液通過加熱系統進行加熱,加熱至預定溫度;
將加熱后的所述三氯氫硅粗液通入排氣罐,脫出不凝氣;
將脫出不凝氣的所述三氯氫硅粗液通入提純塔組進行提純,得到三氯氫硅產品;
其中,所述預定溫度小于等于所述提純塔組的第一精餾塔進料板壓力下的飽和溫度。
2.根據權利要求1所述的提純方法,其特征在于,所述加熱步驟中,所述預定溫度等于所述提純塔組的第一精餾塔進料板壓力下的飽和溫度。
3.根據權利要求1所述的提純方法,其特征在于,所述脫出不凝氣的步驟中,調整所述排氣罐中的壓力至預定壓力,所述預定壓力大于所述提純塔組的第一精餾塔進料板壓力。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的提純方法,其特征在于,所述加熱步驟中,將所述三氯氫硅粗液通過多個加熱器逐漸加溫至所述預定溫度。
5.根據權利要求4所述的提純方法,其特征在于,所述加熱步驟中,首先將所述提純塔組中脫重塔流出的四氯化硅液體作為熱介質,在換熱器中對所述三氯氫硅粗液進行換熱升溫,然后再通過后續的加熱器將所述三氯氫硅粗液加熱至所述預定溫度。
6.根據權利要求1至3中任一項所述的提純方法,其特征在于,具有四氯化硅液體排出口的脫重塔作為第一精餾塔設置在所述提純塔組中,依靠壓差將所述排氣罐中脫出不凝氣的所述三氯氫硅粗液通入所述第一精餾塔。
7.根據權利要求6所述的提純方法,其特征在于,所述提純塔組的第一精餾塔進料板壓力為0.25~0.6Mpa,所述排氣罐中的壓力比所述提純塔組的第一精餾塔進料板壓力高0.2~0.9Mpa。
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