[發明專利]一種自動清除半導體生產過程中廢液排放管路堵塞的裝置

有效

• 申請號: 201410240506.X
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN105170578B
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發明（設計）人: 門恩國;王繼周
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: B08B9/032
• 分類號: B08B9/032;F16L55/24
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司21002
• 代理人: 白振宇

技術領域

本發明涉及半導體生產過程中廢液的排放設備，具體地說是一種自動清除半導體生產過程中廢液排放管路堵塞的裝置。

背景技術

半導體生產過程中會產生大量化學廢液，化學廢液需要通過排廢管路系統排放。在廢液排放管路中經常會有沉積物附著在廢液排放管的管壁上，積累的沉積物會使排廢不順暢。管道中沉積物長時間積累會造成排廢管道堵塞，排廢系統無法正常排放化學廢液。管路系統的拆除清洗或更換會延誤生產時間，也會增加生產成本。

發明內容

本發明的目的在于提供一種自動清除廢液排放管路堵塞的裝置。當排放管路堵塞時，該裝置可以自動清洗排廢管路，清除堵塞物，防止管路堵塞。

本發明的目的是通過以下技術方案來實現的：

本發明包括廢液收集箱、清洗液供給泵、清洗液控制閥、清洗液槽、廢液排放箱、排液控制閥、廢液收集槽及清洗廢液收集槽，其中廢液收集箱的一個入口通過所述清洗液供給泵與清洗液槽連通，并在所述清洗液槽與清洗液供給泵之間設有清洗液控制閥，所述廢液收集箱的另一個入口為廢液入口，該入口處設有可開關的廢液收集箱密封擋板，所述廢液收集箱的出口通過廢液排放管與所述廢液排放箱的入口相連通；所述廢液排放箱的一個出口為廢液出口，該出口處設有可開關的廢液排放箱密封擋板，由該出口流出的廢液通過所述廢液收集槽收集，所述廢液排放箱的另一個出口與所述排液控制閥連通，所述清洗液槽內的清洗液經該排液控制閥、由所述清洗廢液收集槽收集。

其中：所述廢液收集箱的一個入口與清洗液供給泵的出口相連通，該清洗液供給泵的入口通過所述清洗液控制閥與所述清洗液槽連通，所述清洗液控制閥通過清洗液閥控制氣缸控制開關；所述排液控制閥通過排液閥控制氣缸控制開關；所述廢液排放箱的另一個出口與排液控制閥的入口相連通，該排液控制閥出口連接的管路位于所述清洗廢液收集槽的上方；

所述廢液收集箱密封擋板鉸接于廢液收集箱另一個入口處，并通過收集箱擋板控制氣缸控制開關；所述廢液收集箱密封擋板的中部鉸接于廢液收集箱另一個入口處，廢液收集箱密封擋板的一端與所述收集箱擋板控制氣缸的輸出端鉸接，另一端在關閉時密封所述廢液收集箱另一個入口；

所述廢液排放箱密封擋板鉸接于廢液排放箱一個出口處，并通過排放箱擋板控制氣缸控制開關；所述廢液排放箱密封擋板的中部鉸接于廢液排放箱一個出口處，廢液排放箱密封擋板的一端與所述排放箱擋板控制氣缸的輸出端鉸接，另一端在關閉時密封所述廢液排放箱一個出口；所述廢液排放箱位于廢液收集槽的上方。

本發明的優點與積極效果為：

本發明可自動清洗廢液排放管路，防止管路堵塞；當排放管路堵塞時，本發明可自動清除堵塞物，無需將管路拆除進行清洗，節省工作時間，提高工作效率。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為本發明清除堵塞、排放生產廢液時的工作狀態圖；

其中：1為廢液排放箱密封擋板，2為廢液收集箱，3為排放箱擋板控制氣缸，4為廢液排放管，5為廢液收集箱，6為收集箱擋板控制氣缸，7為廢液收集箱密封擋板，8為清洗液供給泵，9為清洗液控制閥，10為清洗液閥控制氣缸，11為清洗液槽，12為廢液排放箱，13為排廢控制閥，14為排廢閥控制氣缸，15為清洗廢液收集槽。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步詳述。

如圖1、圖2所示，本發明包括廢液收集箱5、收集箱擋板控制氣缸6、廢液收集箱密封擋板7、清洗液供給泵8、清洗液控制閥9、清洗液閥控制氣缸10、清洗液槽11、廢液排放箱12、排液控制閥13、排液閥控制氣缸14、廢液排放箱密封擋板1、廢液收集槽2、排放箱擋板控制氣缸3及清洗廢液收集槽15，其中廢液收集箱)的一個入口通過管路與清洗液供給泵8的出口相連通，該清洗液供給泵8的入口通過管路與清洗液槽11相連通，并在清洗液供給泵8與清洗液槽 11之間的管路上設有控制管路開關的清洗液控制閥9，該清洗液控制閥9通過安裝在基礎上的清洗液閥控制氣缸10控制開關。廢液收集箱5的另一個入口為廢液入口，排放半導體生產中產生的廢液由該入口進入；廢液收集箱5的另一個入口鉸接有可開關的廢液收集箱密封擋板7，并通過安裝在基礎上的收集箱擋板控制氣缸6控制開關；廢液收集箱密封擋板7的中部鉸接于廢液收集箱5另一個入口處，廢液收集箱密封擋板7的一端與收集箱擋板控制氣缸6的輸出端鉸接，另一端在處于關閉狀態時密封廢液收集箱5另一個入口。