[發(fā)明專利]一種自動清除半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液排放管路堵塞的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410240506.X
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN105170578B
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 門恩國;王繼周
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號: B08B9/032
• 分類號: B08B9/032;F16L55/24
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司21002
• 代理人: 白振宇

1.一種自動清除半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于：包括廢液收集箱(5)、清洗液供給泵(8)、清洗液控制閥(9)、清洗液槽(11)、廢液排放箱(12)、排液控制閥(13)、廢液收集槽(2)及清洗廢液收集槽(15)，其中廢液收集箱(5)的一個入口通過所述清洗液供給泵(8)與清洗液槽(11)連通，并在所述清洗液槽(11)與清洗液供給泵(8)之間設(shè)有清洗液控制閥(9)，所述清洗液槽(11)的出口與所述廢液收集箱(5)的一個入口處于同一水平面；所述廢液收集箱(5)的另一個入口為廢液入口，該入口處設(shè)有可開關(guān)的廢液收集箱密封擋板(7)，所述廢液收集箱(5)的出口通過廢液排放管(4)與所述廢液排放箱(12)的入口相連通；所述廢液排放箱(12)的一個出口為廢液出口，該出口處設(shè)有可開關(guān)的廢液排放箱密封擋板(1)，由該出口流出的廢液通過所述廢液收集槽(2)收集，所述廢液排放箱(12)的另一個出口與所述排液控制閥(13)連通，所述清洗液槽(11)內(nèi)的清洗液經(jīng)該排液控制閥(13)、由所述清洗廢液收集槽(15)收集。

2.按權(quán)利要求1所述自動清除半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于：所述廢液收集箱(5)的一個入口與清洗液供給泵(8)的出口相連通，該清洗液供給泵(8)的入口通過所述清洗液控制閥(9)與所述清洗液槽(11)連通，所述清洗液控制閥(9)通過清洗液閥控制氣缸(10)控制開關(guān)。

3.按權(quán)利要求1所述自動清除半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于：所述排液控制閥(13)通過排液閥控制氣缸(14)控制開關(guān)。

4.按權(quán)利要求1或3所述自動清除半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于：所述廢液排放箱(12)的另一個出口與排液控制閥(13)的入口相連通，該排液控制閥(13)出口連接的管路位于所述清洗廢液收集槽(15)的上方。

5.按權(quán)利要求1所述自動清除半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于：所述廢液收集箱密封擋板(7)鉸接于廢液收集箱(5)另一個入口處，并通過收集箱擋板控制氣缸(6)控制開關(guān)。

6.按權(quán)利要求5所述自動清除半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于：所述廢液收集箱密封擋板(7)的中部鉸接于廢液收集箱(5)另一個入口處，廢液收集箱密封擋板(7)的一端與所述收集箱擋板控制氣缸(6)的輸出端鉸接，另一端在關(guān)閉時密封所述廢液收集箱(5)另一個入口。

7.按權(quán)利要求1所述自動清除半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于：所述廢液排放箱密封擋板(1)鉸接于廢液排放箱(12)一個出口處，并通過排放箱擋板控制氣缸(3)控制開關(guān)。

8.按權(quán)利要求7所述自動清除半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于：所述廢液排放箱密封擋板(1)的中部鉸接于廢液排放箱(12)一個出口處，廢液排放箱密封擋板(1)的一端與所述排放箱擋板控制氣缸(3)的輸出端鉸接，另一端在關(guān)閉時密封所述廢液排放箱(12)一個出口。

9.按權(quán)利要求1所述自動清除半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于：所述廢液排放箱(12)位于廢液收集槽(2)的上方。