[發(fā)明專利]手動的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410236012.4
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN105225993A
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 雷強(qiáng);代迎偉;張懷東;王堅(jiān);王暉
• 申請（專利權(quán)）人: 盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 施浩

1.一種手動的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括上罩和固定的側(cè)罩，上罩和側(cè)罩通過設(shè)置在兩側(cè)的轉(zhuǎn)軸連接，上罩可繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而達(dá)到打開和閉合裝載機(jī)構(gòu)的狀態(tài)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，上罩上方有一把手，通過該把手控制上罩。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，上罩上設(shè)有可視窗口。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的手動的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，可視窗口開設(shè)在上罩的上方和兩個(gè)側(cè)面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，裝載機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置于機(jī)構(gòu)底部的固定架，裝載機(jī)構(gòu)通過該固定架安裝在其他設(shè)備上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的手動的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，側(cè)罩固定在固定架上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，側(cè)罩的正前方和兩側(cè)面均為開口設(shè)計(jì)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，裝載機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)多組花籃卡點(diǎn)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，裝載機(jī)構(gòu)的銜接處設(shè)有密封圈。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，裝載機(jī)構(gòu)的底板上設(shè)有傳感器，檢測是否有晶圓盒。