[發明專利]涂膠噴嘴自動清洗裝置在審
| 申請號： | 201410235425.0 | 申請日： | 2014-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN105127156A | 公開（公告）日： | 2015-12-09 |
| 發明（設計）人： | 張鎮磊;金一諾;張懷東;王堅;王暉 | 申請（專利權）人： | 盛美半導體設備(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/032 | 分類號： | B08B9/032 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 施浩 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 涂膠 噴嘴 自動 清洗 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種涂膠噴嘴自動清洗裝置，其特征在于，包括若干個安裝在涂膠管附近的清洗噴頭、一端連接清洗噴頭的可導入清洗液的清洗管接頭、位于清洗裝置底部的廢液排除接頭。
2.根據權利要求1所述的涂膠噴嘴自動清洗裝置，其特征在于，清洗噴頭的噴嘴角度是可調的。
3.根據權利要求1所述的涂膠噴嘴自動清洗裝置，其特征在于，清洗噴頭的噴嘴大小是可調的。
4.根據權利要求1所述的涂膠噴嘴自動清洗裝置，其特征在于，清洗噴頭噴射清洗液的噴射時間是周期性的。
5.根據權利要求1所述的涂膠噴嘴自動清洗裝置，其特征在于，裝置還包括安裝在清洗噴頭附近的吹氣管。
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