[發明專利]缺陷單元聚類方法及其裝置

有效

• 申請號: 201410228803.2
• 申請日: 2014-05-27
• 公開（公告）號: CN104217366B
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發明（設計）人: 申啟榮;安大中;樸志英;姜智民
• 申請（專利權）人: 三星SDS株式會社
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06K9/62
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司11018
• 代理人: 齊葵,周艷玲

技術領域

本發明涉及一種對產品的不同位置上發生的缺陷(defect)進行聚類(clustering)的裝置及方法。更為詳細地，涉及一種將由缺陷品構成的缺陷樣品的缺陷圖(defect map)上出現的所述缺陷樣品的缺陷按單元進行聚類的方法及其裝置。

背景技術

在產品的不同位置上發生缺陷時，為了進行共性(Commonality)分析、歷史(History)分析和延遲時間(Delay Time)分析等用于實現制品/工序/設備穩定化的分析，有必要對所述缺陷進行聚類。

但是，以往的聚類方法是單純地依據缺陷發生位置間的距離生成群組的方法。即，在以往的缺陷聚類方法中與各缺陷的發生原因無關地將近距離缺陷指定為一個群組。

專利文獻：韓國專利第0742425號

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種缺陷單元聚類方法及其裝置，該方法及裝置進一步反映通過各個產品的制造歷史(WIP；Work-In-Process)信息選定的各個產品的疑似缺陷設備信息，對缺陷進行聚類。

本發明要解決的另一技術問題是提供一種專用于小型顯示器制造工藝的缺陷聚類方法及其裝置。

本發明要解決的又一技術問題是提供一種按各個產品中包含的單元單位對缺陷進行聚類的方法及其裝置。

本發明要解決的又一技術問題是提供一種能夠將彼此不相鄰的缺陷也構成一個群組的缺陷聚類方法及其裝置。

本發明的技術問題并不限定于上述技術問題，本領域技術人員根據下述記載應該能夠明確理解未提及的其他技術問題。

為了解決上述技術問題，本發明的一方面(ASPECT)所涉及的缺陷單元聚類方法包括以下的步驟：生成樣品缺陷圖，所述樣品缺陷圖表示缺陷樣品的按單元位置的缺陷單元分布，所述缺陷樣品由被區劃為多個單元(cell)的產品中包含一個以上缺陷單元的產品構成；在所述樣品缺陷圖中，將存在一個以上缺陷單元的單元位置中的至少一部分選定為聚類對象；利用按所述產品的通過設備信息，針對所述聚類對象中包含的各個單元位置，選定一個以上的疑似缺陷設備；和將所述聚類對象歸類為一個以上的群組，以使在一個群組中包含的第一單元位置與第二單元位置具有至少一個疑似缺陷設備，并且在所述第一單元位置與所述第二單元位置之間成立位置相關關系。例如，所述通過設備信息可在制造歷史(WIP，Work-In-Process)信息中查詢。

根據本發明的一實施例，所述疑似缺陷設備的選定步驟可包括以下的步驟：針對各個單元位置運算各個設備的缺陷占比(defect ratio)；和利用所述缺陷占比，對所述各個單元位置選定一個以上的疑似缺陷設備，對于特定單元位置的特定設備的所述缺陷占比是依據(所述特定設備的缺陷數/所述特定設備所屬工序的缺陷數)來運算的，所述特定設備所屬工序的缺陷數是在所述特定單元位置為缺陷單元的產品中通過所述特定設備所屬工序的產品的數量，所述特定設備的缺陷數是在所述特定單元位置為缺陷單元的產品中通過所述特定設備的產品的數量。而且，根據本實施例的細部實施例，利用所述缺陷占比對所述各個單元位置選定一個以上的疑似缺陷設備的步驟包括以下的步驟：針對各個單元位置選定高缺陷占比設備；構成各個單元位置的高缺陷占比設備的并集即疑似缺陷設備候補集合；運算在所述疑似缺陷設備候補集合中包含的各個設備的良品占比(good ratio)；針對各個單元位置，運算從各個設備的所述缺陷占比中減去良品占比的值即疑似缺陷因子；和針對各個單元位置，選定所述疑似缺陷因子高的指定數量的所述疑似缺陷設備。而且，根據對本細部實施例的相關實施例，運算在所述疑似缺陷設備候補集合中包含的各個設備的良品占比的步驟可包括以下的步驟：以由不包含缺陷單元的良品構成的良品樣品為對象運算各個設備的所述良品占比，特定設備的所述良品占比是依據(所述特定設備的良品數/所述特定設備所屬工序的良品數)來運算，所述特定設備所屬工序的良品數是通過所述特定設備所屬工序的良品的數量，所述特定設備的良品數是通過所述特定設備的良品的數量。此時，在所述良品樣品中包含的良品的數量可以正比于在所述缺陷樣品中包含的產品的數量而決定。

根據一實施例，所述位置相關關系可包括鄰接型位置模式及對稱型位置模式中的一個，所述鄰接型位置模式在兩個單元位置在所述產品的X軸方向或者在Y軸方向上相互鄰接時成立，所述對稱型位置模式在兩個單元位置之間的距離為所述產品的X軸長度的一半，或者為所述產品的Y軸長度的一半，或者為所述產品的對角線長度的一半時成立。