[發明專利]缺陷單元聚類方法及其裝置

有效

• 申請號: 201410228803.2
• 申請日: 2014-05-27
• 公開（公告）號: CN104217366B
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發明（設計）人: 申啟榮;安大中;樸志英;姜智民
• 申請（專利權）人: 三星SDS株式會社
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06K9/62
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司11018
• 代理人: 齊葵,周艷玲

1.一種缺陷單元聚類方法，其特征在于，包括以下的步驟：

生成樣品缺陷圖，所述樣品缺陷圖表示缺陷樣品的按單元位置的缺陷單元分布，所述缺陷樣品由被區劃為多個單元的產品中包含一個以上缺陷單元的產品構成；

在所述樣品缺陷圖中，將存在一個以上缺陷單元的單元位置中的至少一部分選定為聚類對象；

利用按所述產品的通過設備信息，針對所述聚類對象中包含的各個單元位置，選定一個以上的疑似缺陷設備；和

將所述聚類對象歸類為一個以上的群組，以使在一個群組中包含的第一單元位置與第二單元位置具有至少一個疑似缺陷設備，并且在所述第一單元位置與所述第二單元位置之間成立位置相關關系，所述位置相關關系包括鄰接型位置模式及對稱型位置模式中的一個，

所述疑似缺陷設備的選定步驟包括以下的步驟：

針對各個單元位置運算各個設備的缺陷占比；和

利用所述缺陷占比對所述各個單元位置選定一個以上的疑似缺陷設備，

對于特定單元位置的特定設備的所述缺陷占比是依據所述特定設備的缺陷數除以所述特定設備所屬工序的缺陷數來運算，

所述特定設備所屬工序的缺陷數是在所述特定單元位置為缺陷單元的產品中通過所述特定設備所屬工序的產品的數量，

所述特定設備的缺陷數是在所述特定單元位置為缺陷單元的產品中通過所述特定設備的產品的數量。

2.根據權利要求1所述的缺陷單元聚類方法，其特征在于，

利用所述缺陷占比對所述各個單元位置選定一個以上的疑似缺陷設備的步驟包括以下的步驟：

針對各個單元位置選定高缺陷占比設備；

構成各個單元位置的高缺陷占比設備的并集即疑似缺陷設備候補集合；

運算在所述疑似缺陷設備候補集合中包含的各個設備的良品占比；

針對各個單元位置，運算從各個設備的所述缺陷占比中減去良品占比的值即疑似缺陷因子；和

針對各個單元位置，選定所述疑似缺陷因子高的指定數量的所述疑似缺陷設備。

3.根據權利要求2所述的缺陷單元聚類方法，其特征在于，

運算在所述疑似缺陷設備候補集合中包含的各個設備的良品占比的步驟包括以下的步驟：

以由不包含缺陷單元的良品構成的良品樣品為對象，運算各個設備的所述良品占比，

特定設備的所述良品占比是依據所述特定設備的良品數除以所述特定設備所屬工序的良品數來運算的，

所述特定設備所屬工序的良品數是通過所述特定設備所屬工序的良品的數量，

所述特定設備的良品數是通過所述特定設備的良品的數量。

4.根據權利要求3所述的缺陷單元聚類方法，其特征在于，

在所述良品樣品中包含的良品的數量正比于在所述缺陷樣品中包含的產品的數量而決定。

5.根據權利要求1所述的缺陷單元聚類方法，其特征在于，

所述鄰接型位置模式在兩個單元位置在所述產品的X軸方向或者在Y軸方向上相互鄰接時成立，

所述對稱型位置模式在兩個單元位置之間的距離為所述產品的X軸長度的一半，或者為所述產品的Y軸長度的一半，或者為所述產品的對角線長度的一半時成立。

6.根據權利要求1所述的缺陷單元聚類方法，其特征在于，

將所述聚類對象歸類為一個以上群組的步驟包括以下的步驟：

組合在所述聚類對象中包含的所有單元位置中的兩個單元位置以生成單元鏈接；

對于各個所述單元鏈接，僅限于在兩個單元位置共同具有至少一個所述疑似缺陷設備，并且在兩個單元位置之間成立位置相關關系時維持單元鏈接；和

利用所述單元鏈接將至少一個單元位置重疊的所有的單元鏈接中包含的單元位置構成一個群組。

7.根據權利要求1所述的缺陷單元聚類方法，其特征在于，

在所述樣品缺陷圖中，將存在一個以上缺陷單元的單元位置中的至少一部分選定為聚類對象的步驟包括以下的步驟：

在所述樣品缺陷圖中，將具有基準值以上的缺陷單元的單元位置選定為所述聚類對象，

所述基準值是在所述樣品缺陷圖中缺陷單元最多的單元位置的缺陷單元數量與在所述樣品缺陷圖中缺陷單元最少的單元位置的缺陷單元數量的差除以2的值。