[發(fā)明專利]一種半導體封裝載料裝置及其應用的封裝設備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410228588.6 | 申請日: | 2014-05-28 |
| 公開(公告)號: | CN105225994B | 公開(公告)日: | 2018-03-20 |
| 發(fā)明(設計)人: | 呂明 | 申請(專利權)人: | 海太半導體(無錫)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/56 |
| 代理公司: | 無錫市朗高知識產(chǎn)權代理有限公司32262 | 代理人: | 楊虹 |
| 地址: | 214000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 裝載 裝置 及其 應用 封裝 設備 | ||
1.一種半導體封裝載料裝置,其特征在于,包括:
載料座,沿直線方向排列設有多組支柱,其中,每組包括至少兩根支柱;并且,每兩組支柱之間圍成一個供載料的間隙;
支柱密封模塊,套合于所述載料座上各組支柱,從所述支柱密封模塊上端面向內(nèi)形成有一一對位且連通于所述各間隙的多個中空通道;
蓋子,固定于所述支柱密封模塊上端,所述蓋子具有一一對位且連通于所述各中空通道的多個供入料的進料口;
所述料為環(huán)氧樹脂顆粒;
所述支柱密封模塊是形成有所述各中空通道的一體成型的部件。
2.根據(jù)權利要求1所述的半導體封裝載料裝置,其特征在于,所述支柱密封模塊包括多個形成有所述各中空通道的套筒。
3.一種半導體封裝設備,其特征在于,包括:
如權利要求1至2所述的半導體封裝載料裝置;
裝載并移動所述半導體封裝載料裝置的傳送機構;
對應一一插入各所述進料口完成進料的接料裝置。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





