[發(fā)明專(zhuān)利]壓印設(shè)備、壓印方法和制造產(chǎn)品的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410227985.1
• 申請(qǐng)日: 2014-05-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104216219B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西川原朋史;中川一樹(shù)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 佳能株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/00
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/00
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 羅聞

本發(fā)明涉及壓印設(shè)備、壓印方法和制造產(chǎn)品的方法。本發(fā)明提供了一種用于在基片上的多個(gè)曝光區(qū)域中形成圖案的壓印設(shè)備，所述壓印設(shè)備包括：加熱單元，所述加熱單元構(gòu)造成通過(guò)加熱基片而使得每一個(gè)曝光區(qū)域變形；和控制單元，所述控制單元構(gòu)造成控制加熱單元，其中，當(dāng)根據(jù)用于通過(guò)加熱單元加熱在目標(biāo)曝光區(qū)域之前已經(jīng)經(jīng)受壓印處理的曝光區(qū)域的加熱控制信息針對(duì)作為待經(jīng)受壓印處理的曝光區(qū)域的目標(biāo)曝光區(qū)域?qū)嵤河√幚頃r(shí)，控制單元對(duì)加熱單元加熱基片實(shí)施控制，使得因根據(jù)控制信息加熱基片而已經(jīng)變形的目標(biāo)曝光區(qū)域的形狀接近目標(biāo)形狀。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及壓印設(shè)備、壓印方法和制造產(chǎn)品的方法。

背景技術(shù)

將形成在模具上的圖案轉(zhuǎn)印到基片上的壓印材料的壓印技術(shù)作為用于磁存儲(chǔ)介質(zhì)、半導(dǎo)體裝置等的批量印刷技術(shù)中的一種而引起關(guān)注。在使用這種技術(shù)的壓印設(shè)備中，使得其上形成有圖案的模具和供應(yīng)到基片上的壓印材料相互接觸，并且在該狀態(tài)下固化壓印材料。能夠通過(guò)使得模具與固化的壓印材料分離而在基片上形成圖案。

半導(dǎo)體裝置等的制造需要將多層圖案重疊在基片上。因此，在壓印設(shè)備中，重要的是通過(guò)使得圖案與形成在基片上的曝光區(qū)域(shot region)準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)來(lái)轉(zhuǎn)印模具的圖案。因此，日本專(zhuān)利公開(kāi)No.2004-259985提出一種通過(guò)加熱基片使得曝光區(qū)域變形和使得基片和模具之間對(duì)準(zhǔn)的方法。

在日本專(zhuān)利公開(kāi)No.2004-259985中描述的一種壓印設(shè)備在使得基片和模具對(duì)準(zhǔn)時(shí)通過(guò)加熱基片而使得曝光區(qū)域變形。因此，經(jīng)受壓印處理的曝光區(qū)域(目標(biāo)曝光區(qū)域)的形狀因受到在之前壓印處理期間加熱基片產(chǎn)生且存留在基片中的熱量的影響而不期望地發(fā)生變化。結(jié)果，當(dāng)曝光區(qū)域因加熱基片而變形時(shí)，難以使得基片和模具之間準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)，除非考慮存留在基片中的熱量的影響。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明在使得壓印設(shè)備中的模具和基片之間準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)時(shí)提供了技術(shù)優(yōu)勢(shì)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種壓印設(shè)備，所述壓印設(shè)備用于通過(guò)在模具和基片上的壓印材料相互接觸的同時(shí)在基片上的多個(gè)曝光區(qū)域中的每一個(gè)曝光區(qū)域處實(shí)施固化壓印材料的壓印處理而在多個(gè)曝光區(qū)域中形成圖案，所述壓印設(shè)備包括：加熱單元，所述加熱單元構(gòu)造成通過(guò)加熱基片而使得每一個(gè)曝光區(qū)域變形；和控制單元，所述控制單元構(gòu)造成控制加熱單元，其中，當(dāng)根據(jù)用于通過(guò)加熱單元將在作為待經(jīng)受壓印處理的曝光區(qū)域的目標(biāo)曝光區(qū)域之前經(jīng)受壓印處理的曝光區(qū)域加熱的加熱控制信息來(lái)針對(duì)目標(biāo)曝光區(qū)域?qū)嵤河√幚頃r(shí)，控制單元控制加熱單元對(duì)基片的加熱，使得已經(jīng)通過(guò)根據(jù)控制信息加熱基片而發(fā)生變形的目標(biāo)曝光區(qū)域的形狀變得接近目標(biāo)形狀。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種壓印方法，所述壓印方法通過(guò)在壓印設(shè)備中模具和基片上的壓印材料相互接觸的同時(shí)在基片上的多個(gè)曝光區(qū)域中的每一個(gè)曝光區(qū)域處實(shí)施固化壓印材料的壓印處理而在多個(gè)曝光區(qū)域中形成圖案，所述壓印設(shè)備包括加熱單元，所述加熱單元構(gòu)造成通過(guò)加熱基片而使得基片上的曝光區(qū)域變形，所述方法包括：基于用于通過(guò)加熱單元將在作為待經(jīng)受壓印處理的曝光區(qū)域的目標(biāo)曝光區(qū)域之前經(jīng)受壓印處理的曝光區(qū)域加熱的加熱控制信息實(shí)施控制的控制步驟；通過(guò)加熱單元加熱基片，使得因根據(jù)控制信息加熱基片而變形的目標(biāo)曝光區(qū)域的形狀變得接近目標(biāo)形狀。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種制造產(chǎn)品的方法，所述方法包括：使用壓印設(shè)備在基片上形成圖案；和處理已經(jīng)在其上形成有圖案的基片，以制造產(chǎn)品，其中，在模具和基片上的壓印材料相互接觸的同時(shí)通過(guò)在基片上的多個(gè)曝光區(qū)域中的每一個(gè)曝光區(qū)域處實(shí)施固化壓印材料的壓印處理而在多個(gè)曝光區(qū)域中形成圖案的壓印設(shè)備包括：加熱單元，所述加熱單元構(gòu)造成通過(guò)加熱基片使得每一個(gè)曝光區(qū)域變形；和控制單元，所述控制單元構(gòu)造成控制加熱單元，其中，當(dāng)基于用于通過(guò)加熱單元將在作為待經(jīng)受壓印處理的曝光區(qū)域的目標(biāo)曝光區(qū)域之前經(jīng)受壓印處理的曝光區(qū)域加熱的加熱控制信息針對(duì)目標(biāo)曝光區(qū)域?qū)嵤河√幚頃r(shí)，控制單元控制加熱單元對(duì)基片的加熱，使得已經(jīng)因根據(jù)控制信息加熱基片而變形的目標(biāo)曝光區(qū)域的形狀變得接近目標(biāo)形狀。