[發明專利]壓印設備、壓印方法和制造產品的方法

有效

• 申請號: 201410227985.1
• 申請日: 2014-05-27
• 公開（公告）號: CN104216219B
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發明（設計）人: 西川原朋史;中川一樹
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 羅聞

1.一種壓印設備，所述壓印設備通過在基片上的第一曝光區域和第二曝光區域的每一個曝光區域處實施通過在基片上的壓印材料和模具相互接觸的同時將所述壓印材料固化而形成所述壓印材料的圖案的壓印處理，而在所述基片上的所述第一曝光區域和所述第二曝光區域中形成圖案，所述壓印設備包括：

加熱單元，所述加熱單元構造成通過加熱所述基片而使得所述第一曝光區域和第二曝光區域變形；和

控制單元，所述控制單元構造成控制所述加熱單元，

其中，所述控制單元獲得第一加熱控制信息和第二加熱控制信息，所述第一加熱控制信息用于控制所述加熱單元對第一曝光區域的加熱，所述第二加熱控制信息用于控制所述加熱單元對第二曝光區域的加熱，

其中，使用所述第一加熱控制信息設定所述第二加熱控制信息，從而通過使用第一加熱控制信息對所述第一曝光區域加熱引起的第二曝光區域的變形以及使用第二加熱控制信息對所述第二曝光區域加熱引起的第二曝光區域的變形，使得所述第二曝光區域變得接近目標形狀，

其中所述控制單元使用獲得的第一加熱控制信息控制所述第一曝光區域的加熱，并且控制因所述第一曝光區域加熱而變形的第一曝光區域的壓印處理，并且

其中所述控制單元使用獲得的第二加熱控制信息控制所述第二曝光區域的加熱，并且控制因所述第一曝光區域加熱和所述第二曝光區域加熱而變形的第二曝光區域的壓印處理。

2.根據權利要求1所述的設備，其中

根據所述第一加熱控制信息，所述控制單元確定所述第二曝光區域因使用所述第一加熱控制信息加熱所述第一曝光區域所導致的變形量，并且

所述控制單元通過使用所述變形量和在使用所述第一加熱控制信息加熱所述第一曝光區域之前獲得的所述第二曝光區域的形狀來確定已經因使用所述第一加熱控制信息加熱所述第一曝光區域而發生變形的所述第二曝光區域的形狀。

3.根據權利要求2所述的設備，其中，所述控制單元根據通過組合每個熱量分布獲得的分布控制所述加熱單元加熱，使得所述第二曝光區域的所述形狀接近所述目標形狀，所述每個熱量分布均用于校正形狀差異的多種類型變形分量中的每一種，所述形狀差異表示所述目標形狀和通過根據所述第一加熱控制信息加熱所述第一曝光區域而變形的所述第二曝光區域的形狀之間的差異。

4.根據權利要求1所述的設備，其中，所述第一加熱控制信息包含關于由所述加熱單元施加到所述第一曝光區域的熱量的信息。

5.根據權利要求1所述的設備，其中，所述控制單元根據從所述加熱單元實施所述第一曝光區域的加熱時所經過的時間對所述第一加熱控制信息加權。

6.根據權利要求1所述的設備，其中，所述控制單元根據所述基片中的第一曝光區域上的已經由所述加熱單元加熱的位置對所述第一加熱控制信息加權。

7.根據權利要求1所述的設備，其中，所述控制單元根據關于所述第二曝光區域中的變形量的變形信息確定所述第一加熱控制信息，所述變形量通過根據所述第一加熱控制信息加熱所述第一曝光區域產生，并且在所述第二曝光區域的壓印處理中保留。

8.根據權利要求7所述的設備，其中，所述控制單元使用所述變形信息確定所述第一加熱控制信息，使得所述第二曝光區域的形狀接近所述目標形狀。

9.根據權利要求1所述的設備，其中，所述控制單元根據關于在所述第二曝光區域之后經受壓印處理的第三曝光區域的變形量的變形信息來確定所述第二加熱控制信息，所述變形量通過根據所述第二加熱控制信息加熱所述第二曝光區域而產生，并且在所述第三曝光區域的壓印處理中保留。

10.根據權利要求9所述的設備，其中，所述控制單元使用所述變形信息確定所述第二加熱控制信息，使得所述第三曝光區域的形狀變得接近針對第三曝光區域的目標形狀。