[發明專利]磁控濺射裝置及其濺射陰極

有效

• 申請號: 201410227906.7
• 申請日: 2014-05-27
• 公開（公告）號: CN104046949B
• 公開（公告）日: 2017-01-04
• 發明（設計）人: 張迅;陽威;歐陽小園;易偉華
• 申請（專利權）人: 江西沃格光電股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 生啟

1.一種濺射陰極，用于承載待濺射的靶材，其特征在于，所述濺射陰極包括：

陰極門板，包括板體及圍繞所述板體的邊緣設置的側板，所述側板圍繞形成一安裝區域；

陰極，固定于所述陰極門板上，并位于所述安裝區域內，所述陰極與陰極門板是絕緣的，所述陰極用于與電源負極連接，所述靶材可承載于所述電源陰極上；

陽極罩，包括圍繞呈筒狀的側壁，以及由側壁的一端向內彎折并延伸形成的遮擋板，所述陽極罩套設并固定于所述側板上，所述遮擋板覆蓋所述側板，所述陽極罩由導電材料制成，且與所述陰極門板電連接。

2.根據權利要求1所述的濺射陰極，其特征在于，所述陰極上設有銅背板，所述銅背板與所述陰極也連接，且所述銅背板用于承載所述靶材。

3.根據權利要求2所述的濺射陰極，其特征在于，所述銅背板上設有壓條，以將所述靶材壓持于所述銅背板上。

4.根據權利要求1所述的濺射陰極，其特征在于，所述靶材承載于所述陰極上時，所述遮擋板與所述靶材的表面的距離為20至40毫米。

5.根據權利要求4所述的濺射陰極，其特征在于，還包括螺紋緊固件，所述側壁上開設有條形孔，所述螺紋緊固件穿設于所述條形孔并與所述側板螺合，以固定所述陽極罩，所述螺紋緊固件沿所述條形孔可滑動，以調節所述靶材與所述遮擋板之間的距離。

6.根據權利要求1所述的濺射陰極，其特征在于，所述陽極罩由不銹鋼制成。

7.根據權利要求1所述的濺射陰極，所述靶材承載于所述陰極時，所述遮擋板末端與所述靶材表面的距離為20至40毫米。

8.一種磁控濺射裝置，其特征在于，包括如上述權利要求1～7任一項所述的濺射陰極。