[發明專利]一種可切換電阻式探針卡

在審

• 申請號: 201410227731.X
• 申請日: 2014-05-27
• 公開（公告）號: CN103983817A
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 王炯;尹彬鋒;吳奇偉
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，特別涉及一種可切換電阻式探針卡。

背景技術

在全自動測試系統上進行晶圓級別的可靠性測試時，就會用到探針卡(如圖1，為現有的探針卡的示意圖)，探針卡的作用就是通過扎針焊墊使得測試機臺信號和被測試結構導通。現有的探針卡會按照不同測試項目對連接電阻的需求分成兩類，如圖2和3所示，圖2為現有的不帶電阻的探針卡的示意圖，圖3為現有的每根針串接電阻的探針卡示意圖。

目前需要購買以上這兩種探針卡來滿足不同測試的需求，因為有些測試是不能用加電阻的探針卡進行測試，否則會有分壓的情況發生；而有些測試必須用到加電阻的探針卡，來防止測試過程中產生的瞬間大電流燒壞測試結構和損傷探針卡，對于這種測試每根針上都需串接電阻。

由于每次在測試之前都需要購買上述兩種探針卡，并且在測試時需要從這兩種探針卡之間進行選擇，從而給測試帶來了不便。

專利號為CN103592474A的專利公開了一種可切換式探針卡，其在每根探針的走線上設置了支路選擇裝置，用于在配有探針電阻的支路和未配置有探針電阻的支路之間進行切換，雖然能夠解決不需在測試前選擇兩種探針卡的問題，但是，其只能選擇切換連接電阻和不連接電阻，而不能進行不同電阻的更換，這樣，無疑限制了測試時的靈活性。并且，這種可切換式探針卡在操作過程中暴露于空氣中，這樣多次重復使用會造成電阻的大量污染，降低測試精度。

發明內容

為了克服以上問題，本發明的目的是提供一種可切換式探針卡，其不僅能夠更換電阻，可以在不同電阻之間進行切換，從而使得測試更加便利；其還能夠避免在重復的大量測試過程中對電阻造成污染，從而提高測試精度。

為了實現上述目的，本發明提供的一種可切換電阻式探針卡，包括多個探針，用于連接被測試結構和測試機臺，其還包括：

若干電路走線單元，位于所述探針卡背面，一端與所述探針相連接，另一端用于連接測試機臺；每個所述電路走線單元具有多個支路、以及位于所述支路上的可更換電阻；

切換裝置，所述切換裝置的一端與所述電路走線單元相連接，另一端可選擇地與所述電路走線單元中的所述支路相連接；用于在所述電路走線單元中的各個所述支路之間進行切換；

電阻容納裝置，位于所述探針卡正面，且所述電阻容納裝置與相應的所述支路相電連，用于將置于其中的電阻與所述支路相電連；

封閉裝置，用于將所述電阻容納裝置和所述切換裝置與外界相隔離，從而避免大量頻繁測試對電阻造成的污染，提高了測試精度。

切換裝置控制單元，用于在封閉狀態下，控制各個所述切換裝置在相應的所述電路走線單元中的各個所述支路之間進行切換。

優選地，在所述電阻容納裝置中具有頂出部件，用于將置于其中的電阻頂出所述電阻容納裝置。通過頂出部件，可以便于將電阻從電阻容納裝置中取出，增加測試的便利性，并且，可以避免取出電阻的過程中對電阻容納電源造成損傷。

優選地，所述探針卡具有切換裝置容納槽，將所述切換裝置放置其中；

優選地，所述探針卡具有多個凹槽，用于將所述電阻置于其中；所述切換裝置容納槽位于所述凹槽的靠近所述探針卡中心的一端。

優選地，所述封閉裝置為遮擋帽，其一端與所述探針卡通過軸相連接，使所述遮擋帽可以繞所述軸進行上下翻動，從而完成開啟或關閉動作。

優選地，所述封閉裝置連接有封閉裝置控制器，所述封閉裝置控制器用于控制所述封閉裝置的開啟或關閉動作。通過封閉裝置控制器，可以實現自動化操作，更進一步增加測試的便利性。

優選地，所述電阻容納裝置中，通過兩個導電片與所述支路相連通。

優選地，所述切換裝置為電阻切換開關或單刀多擲開關。

由此可見，本發明的可切換電阻式探針卡，通過設置切換裝置、電阻容納裝置、封閉裝置、切換裝置控制單元，從而實現了在測試時，自由的選擇與更換電阻，并且避免了重復大量測試對電阻造成的污染，不僅使得測試更加便利，還提高了測試精度，并且在一定程度上實現了測試的自動化。

附圖說明

圖1為現有的探針卡的示意圖

圖2為現有的不帶電阻的探針卡的示意圖

圖3為現有的每根針串接電阻的探針卡示意圖

圖4為本發明的可切換式探針卡的方塊圖

圖5為探針卡的內部電路示意圖

圖6為本發明的一個較佳實施例的探針卡的示意圖

圖7為本發明的一個較佳實施例的探針卡裝上電阻后的示意圖

具體實施方式