[發(fā)明專(zhuān)利]一種可切換電阻式探針卡

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410227731.X
• 申請(qǐng)日: 2014-05-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103983817A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王炯;尹彬鋒;吳奇?zhèn)?/a>
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R1/073
• 分類(lèi)號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種可切換電阻式探針卡，包括多個(gè)探針，用于連接被測(cè)試結(jié)構(gòu)和測(cè)試機(jī)臺(tái)，其特征在于，還包括：?

若干電路走線單元，位于所述探針卡背面，一端與所述探針相連接，另一端用于連接測(cè)試機(jī)臺(tái)；每個(gè)所述電路走線單元具有多個(gè)支路、以及位于所述支路上的可更換電阻；?

切換裝置，所述切換裝置的一端與所述電路走線單元相連接，另一端可選擇地與所述電路走線單元中的所述支路相連接；用于在所述電路走線單元中的各個(gè)所述支路之間進(jìn)行切換；?

電阻容納裝置，位于所述探針卡正面，且所述電阻容納裝置與相應(yīng)的所述支路相電連，用于將置于其中的電阻與所述支路相電連；?

封閉裝置，用于將所述電阻容納裝置和所述切換裝置與外界相隔離；?

切換裝置控制單元，用于在封閉狀態(tài)下，控制各個(gè)所述切換裝置在相應(yīng)的所述電路走線單元中的各個(gè)所述支路之間進(jìn)行切換。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，在所述電阻容納裝置中具有頂出部件，用于將置于其中的電阻頂出所述電阻容納裝置。?

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述探針卡具有切換裝置容納槽，將所述切換裝置放置其中。?

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述探針卡具有多個(gè)凹槽，用于將所述電阻置于其中；所述切換裝置容納槽位于所述凹槽的靠近所述探針卡中心的一端。?

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述封閉裝置為遮擋帽，其一端與所述探針卡通過(guò)軸相連接，使所述遮擋帽可以繞所述軸進(jìn)行上下翻動(dòng)，從而完成開(kāi)啟或關(guān)閉動(dòng)作。?

6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的探針卡，其特征在于，所述封閉裝置連接有封閉裝置控制器，所述封閉裝置控制器用于控制所述封閉裝置的開(kāi)啟或關(guān)閉動(dòng)作。?

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述電阻容納裝置中，通過(guò)兩個(gè)導(dǎo)電片與所述支路相連通。?

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述切換裝置為電阻切換開(kāi)關(guān)或單刀多擲開(kāi)關(guān)。?