[發明專利]一種聚焦離子束機臺之探針的降震裝置及其降震方法有效
| 申請號： | 201410217867.2 | 申請日： | 2014-05-21 |
| 公開（公告）號： | CN103969105B | 公開（公告）日： | 2017-01-18 |
| 發明（設計）人： | 劉永波;顧曉芳;倪棋梁;龍吟;陳宏璘 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/36 | 分類號： | G01N1/36 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 聚焦 離子束 機臺 探針 裝置 及其 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種聚焦離子束機臺之探針的降震裝置，其特征在于，所述聚焦離子束機臺之探針的降震裝置包括：
固定支架，所述固定支架環設于探針之外端的外圍；
彈性元件，所述彈性元件之一端固定設置在所述固定支架上，所述彈性元件之另一端固定設置在所述探針上，且所述彈性元件之間呈120°角。
2.如權利要求1所述的聚焦離子束機臺之探針的降震裝置，其特征在于，所述彈性元件為彈簧。
3.一種如權利要求1所述的聚焦離子束機臺之探針的降震方法，其特征在于，所述降震方法包括：在所述探針之外端的外圍環設固定支架，并在所述固定支架內設置彈性元件，所述彈性元件之一端固定設置在所述固定支架上，所述彈性元件之另一端固定設置在所述探針上，且所述彈性元件之間呈120°角。
4.如權利要求3所述的聚焦離子束機臺之探針的降震方法，其特征在于，所述彈性元件為彈簧。
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