[發明專利]可調整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法有效
| 申請號： | 201410216997.4 | 申請日： | 2014-05-21 |
| 公開（公告）號： | CN103962346A | 公開（公告）日： | 2014-08-06 |
| 發明（設計）人： | 姚江波 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/00 | 分類號： | B08B7/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知識產權代理事務所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 可調整 紫外光 照射 能量 清洗 方法 | ||
1.一種可調整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，
包括如下步驟：
步驟1、提供紫外光燈(10)與待紫外光清洗的基板(20)；
步驟2、在紫外光燈(10)與待紫外光清洗的基板(20)之間設置數塊遮光板(30)；
步驟3、轉動遮光板(30)，調整紫外光燈(10)發出的紫外光照射到基板(20)上的面積，從而控制單位時間內紫外光照射到基板(20)上的能量；
步驟4、紫外光燈(10)發出紫外光清洗基板(20)。
2.如權利要求1所述的可調整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟2中的每一遮光板(30)為黑色。
3.如權利要求1所述的可調整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟2中的每一遮光板(30)為長條狀薄片。
4.如權利要求1所述的可調整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟2中的遮光板(30)位于所述紫外光燈(10)與基板(20)中間。
5.如權利要求1所述的可調整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟2中的遮光板(30)與所述紫外光燈(10)垂直。
6.如權利要求1所述的可調整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟4中基板(20)相對紫外光燈(10)移動，遮光板(30)的長度方向與基板(20)移動的方向平行。
7.如權利要求1所述的可調整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟3中轉動遮光板(30)是通過馬達(40)驅動安裝于遮光板(30)上的齒輪(50)來實現的。
8.如權利要求7所述的可調整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述齒輪(50)通過一連接軸(60)固定連接于遮光板(30)，且齒輪(60)安裝于軸承(70)上，該軸承(70)上安裝一支撐軸(80)，從而遮光板(30)可相對于支撐軸(80)轉動。
9.如權利要求7所述的可調整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述遮光板(30)能在0度到90度范圍內轉動。
10.如權利要求1所述的可調整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述基板(20)為薄膜晶體管液晶顯示器的玻璃基板。
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