[發(fā)明專利]智能型弱點(diǎn)圖形診斷方法與系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410210055.5
• 申請(qǐng)日: 2014-05-19
• 公開（公告）號(hào): CN104183517B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 呂一云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 敖翔科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司72003
• 代理人: 郝新慧,章侃銥

1.一種智能型弱點(diǎn)圖形診斷方法，應(yīng)用于一電腦系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的智能型弱點(diǎn)圖形診斷系統(tǒng)中，其特征在于所述的方法包括：

該電腦系統(tǒng)自一缺陷圖形庫(kù)與一高失敗頻率的缺陷圖形庫(kù)引入一弱點(diǎn)圖形布局；

該電腦系統(tǒng)取得經(jīng)一制造工藝廠的缺陷檢測(cè)工具所取得的缺陷檢測(cè)數(shù)據(jù)；

該電腦系統(tǒng)引入一設(shè)計(jì)布局?jǐn)?shù)據(jù)，該設(shè)計(jì)布局?jǐn)?shù)據(jù)至少包括系統(tǒng)性的各種缺陷與弱點(diǎn)圖形；

執(zhí)行弱點(diǎn)圖形篩選與過濾，以比對(duì)該缺陷圖形庫(kù)與該高失敗頻率的缺陷圖形庫(kù)中記載的弱點(diǎn)圖形與由該電腦系統(tǒng)取得的設(shè)計(jì)布局?jǐn)?shù)據(jù)，分類以取得一已知弱點(diǎn)圖形群組；

執(zhí)行未知弱點(diǎn)圖形篩選與過濾，由該電腦系統(tǒng)取得的設(shè)計(jì)布局?jǐn)?shù)據(jù)作圖形相似比對(duì)，找出不屬于且不相似于該缺陷圖形庫(kù)與該高失敗頻率的缺陷圖形庫(kù)的弱點(diǎn)圖形，分類以取得一未知弱點(diǎn)圖形群組；

得出該已知弱點(diǎn)圖形群組以及該未知弱點(diǎn)圖形群組的分布；

取得一待測(cè)物影像，以取得該待測(cè)物上弱點(diǎn)圖形的坐標(biāo)位置與度量數(shù)據(jù)；以及

執(zhí)行一影像處理，得到弱點(diǎn)圖形輪廓以及各弱點(diǎn)圖形的尺寸、范圍與數(shù)量，用以判斷系統(tǒng)性的弱點(diǎn)圖形。

2.如權(quán)利要求1所述的智能型弱點(diǎn)圖形診斷方法，其中該執(zhí)行弱點(diǎn)圖形篩選與過濾的步驟包括一輪廓比對(duì)，其中：

引入基本比對(duì)元素與基本多邊圖形比對(duì)元素；以及

與該待測(cè)物上的圖形進(jìn)行比對(duì)。

3.如權(quán)利要求2所述的智能型弱點(diǎn)圖形診斷方法，其中該輪廓比對(duì)步驟中，以該基本比對(duì)元素或該多邊圖形比對(duì)元素與該待測(cè)物的涵蓋比率作為判斷基礎(chǔ)，輔以該基本比對(duì)元素或該多邊圖形比對(duì)元素的中心線進(jìn)行比對(duì)，于一可允許的寬容度下得到相似的弱點(diǎn)圖形。

4.如權(quán)利要求3所述的智能型弱點(diǎn)圖形診斷方法，其中于該基本比對(duì)元素或該多邊圖形比對(duì)元素的中心線進(jìn)行比對(duì)時(shí)，引入該基本比對(duì)元素或該多邊圖形比對(duì)元素的尺寸與彼此的間的距離、方向與連結(jié)關(guān)系。

5.如權(quán)利要求4所述的智能型弱點(diǎn)圖形診斷方法，其中以該多邊圖形比對(duì)元素為有幾處轉(zhuǎn)折的幾何圖形，比對(duì)時(shí)采順時(shí)鐘或逆時(shí)鐘轉(zhuǎn)動(dòng)比對(duì)，隨時(shí)調(diào)整該多邊圖形比對(duì)元素大小，藉此找到一樣或類似的弱點(diǎn)圖形。

6.如權(quán)利要求5所述的智能型弱點(diǎn)圖形診斷方法，其中透過比對(duì)該基本比對(duì)元素或該多邊圖形比對(duì)元素，確認(rèn)弱點(diǎn)圖形后更新該弱點(diǎn)圖形庫(kù)的弱點(diǎn)圖形。

7.如權(quán)利要求1所述的智能型弱點(diǎn)圖形診斷方法，其中利用一掃描式電子顯微鏡進(jìn)行檢視，掃描而取得該待測(cè)物影像。

8.如權(quán)利要求7所述的智能型弱點(diǎn)圖形診斷方法，其中以該掃描式電子顯微鏡監(jiān)看與預(yù)覽該待測(cè)物時(shí)，以電子束掃描工具檢測(cè)與確認(rèn)該待測(cè)物上的缺陷圖形。

9.如權(quán)利要求1所述的智能型弱點(diǎn)圖形診斷方法，其中利用一光學(xué)顯微鏡進(jìn)行檢視，以取得該待測(cè)物影像。

10.一種以一電腦系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的智能型弱點(diǎn)圖形診斷系統(tǒng)，其中該電腦系統(tǒng)包括一處理器與一存儲(chǔ)器，于該處理器中執(zhí)行一智能型弱點(diǎn)圖形診斷方法，其特征在于，所述執(zhí)行于該處理器的方法包括：

該電腦系統(tǒng)自一缺陷圖形庫(kù)與一高失敗頻率的缺陷圖形庫(kù)引入一弱點(diǎn)圖形布局；

該電腦系統(tǒng)取得經(jīng)一制造工藝廠的缺陷檢測(cè)工具所取得的缺陷檢測(cè)數(shù)據(jù)；

該電腦系統(tǒng)引入一設(shè)計(jì)布局?jǐn)?shù)據(jù)，該設(shè)計(jì)布局?jǐn)?shù)據(jù)至少包括系統(tǒng)性的各種缺陷與弱點(diǎn)圖形；

執(zhí)行弱點(diǎn)圖形篩選與過濾，以比對(duì)該缺陷圖形庫(kù)與該高失敗頻率的缺陷圖形庫(kù)中記載的弱點(diǎn)圖形與由該電腦系統(tǒng)取得的設(shè)計(jì)布局?jǐn)?shù)據(jù)，取得一已知弱點(diǎn)圖形群組；

執(zhí)行未知弱點(diǎn)圖形篩選與過濾，由該電腦系統(tǒng)取得的設(shè)計(jì)布局?jǐn)?shù)據(jù)作圖形相似比對(duì)，找出不屬于且不相似于該缺陷圖形庫(kù)與該高失敗頻率的缺陷圖形庫(kù)的弱點(diǎn)圖形，取得一未知弱點(diǎn)圖形群組；

得出該已知弱點(diǎn)圖形群組以及該未知弱點(diǎn)圖形群組的分布；

取得一待測(cè)物影像，以取得該待測(cè)物上弱點(diǎn)圖形的坐標(biāo)位置與度量數(shù)據(jù)；以及

執(zhí)行一影像處理，得到弱點(diǎn)圖形輪廓以及各弱點(diǎn)圖形的尺寸、范圍與數(shù)量，用以判斷系統(tǒng)性的弱點(diǎn)圖形。