[發(fā)明專利]傳感器元件、電子設(shè)備、以及移動(dòng)體

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410206151.2
• 申請(qǐng)日: 2014-05-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104166013B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高木成和
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01P15/00
• 分類號(hào): G01P15/00
• 代理公司: 北京金信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

本發(fā)明提供一種傳感器元件、電子設(shè)備、以及移動(dòng)體，其能夠抑制可動(dòng)體與基板、或可動(dòng)體與固定電極的抵接。傳感器元件設(shè)有：檢測(cè)電極部；可動(dòng)體，其與檢測(cè)電極部對(duì)置設(shè)置；突起部，在從垂直方向俯視檢測(cè)電極部時(shí)，所述突起部被設(shè)置在設(shè)有所述檢測(cè)電極部的區(qū)域中，并朝向所述可動(dòng)體而突出，所述突起部的表面的至少一部分為絕緣材料。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及傳感器元件、電子設(shè)備、以及移動(dòng)體。

背景技術(shù)

一直一來(lái)，作為檢測(cè)加速度等物理量的傳感器元件，眾所周知一種傳感器元件，其具備以可擺動(dòng)的方式被支承部支承的作為可動(dòng)電極的可動(dòng)體、和配置在與可動(dòng)體對(duì)置的位置處的作為固定電極部的檢測(cè)電極部。在這種傳感器元件中，通過(guò)可動(dòng)體對(duì)應(yīng)于施加在該傳感器元件上的力而進(jìn)行擺動(dòng)，從而使可動(dòng)體與檢測(cè)電極部之間的距離發(fā)生變化。根據(jù)對(duì)應(yīng)于該距離的變化而在兩個(gè)電極部之間產(chǎn)生的電容變化，而對(duì)施加于傳感器元件上的加速度等進(jìn)行檢測(cè)。例如，專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了一種電容型傳感器元件，其具備可動(dòng)電極以及相對(duì)于該可動(dòng)電極具有間隙并在絕緣層上與其間隔設(shè)置的固定電極。

但是，在設(shè)置有固定電極的絕緣層帶電的情況下，該帶電所引起的靜電引力(吸引力)有可能導(dǎo)致可動(dòng)電極被吸引到固定電極側(cè)。由于可動(dòng)電極被吸引到固定電極側(cè)并與固定電極抵接將導(dǎo)致兩個(gè)電極之間產(chǎn)生的靜電電容喪失(短路)，因此還存在對(duì)加速度等的檢測(cè)帶來(lái)影響的問(wèn)題。

專利文獻(xiàn)1：日本專利第4605087號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，能以下述的方式或應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。

應(yīng)用例1

本應(yīng)用例中所述的傳感器元件的特征在于，設(shè)有：檢測(cè)電極部，可動(dòng)體，其與檢測(cè)電極部對(duì)置設(shè)置；突出部，在從垂直方向俯視觀察檢測(cè)電極部時(shí)，所述突出部被設(shè)置在設(shè)有檢測(cè)電極部的區(qū)域中，并朝向可動(dòng)體而突出，突起部的表面的至少一部分為絕緣材料。

根據(jù)這樣的傳感器元件,設(shè)置有檢測(cè)電極部和與檢測(cè)電極部對(duì)置設(shè)置的可動(dòng)體。此外，以從設(shè)有檢測(cè)電極部的區(qū)域朝向可動(dòng)體而突出的方式設(shè)置有表面的至少一部分為絕緣體的突起部。

可動(dòng)體能夠根據(jù)施加在傳感器元件上的加速度等而進(jìn)行位移。通過(guò)對(duì)置地設(shè)置檢測(cè)電極部和可動(dòng)體，從而使二者之間產(chǎn)生靜電電容。靜電電容通過(guò)施加在傳感器元件上的加速度等而隨著檢測(cè)電極部與可動(dòng)體之間的間隙變化而發(fā)生變動(dòng)。

傳感器元件能夠根據(jù)靜電電容的變化而對(duì)被施加的加速度等進(jìn)行檢測(cè)。

可動(dòng)體在過(guò)度位移的情況下與突起部抵接。可動(dòng)體通過(guò)與表面的至少一部分由絕緣材料構(gòu)成的突起部抵接，從而被抑制了與檢測(cè)電極部的接觸及短路，從而能夠抑制可動(dòng)體和檢測(cè)電極部之間產(chǎn)生的靜電電容的喪失。

因此，可獲得抑制了可動(dòng)體和檢測(cè)電極部的抵接、且即使被施加了在過(guò)度的加速度等的情況下也能夠繼續(xù)對(duì)加速度等進(jìn)行檢測(cè)的傳感器元件。

應(yīng)用例2

在上述應(yīng)用例所涉及的傳感器元件中，優(yōu)選為，檢測(cè)電極部包括設(shè)置在與可動(dòng)體對(duì)置的位置處的第一檢測(cè)電極部和第二檢測(cè)電極部，突起部包括第一突起部和第二突起部，在從垂直方向俯視觀察檢測(cè)電極部時(shí)，該第一突起部被設(shè)置在設(shè)有第一檢測(cè)電極部的區(qū)域中，并朝向可動(dòng)體而突出，該第二突起部被設(shè)置在設(shè)有第二檢測(cè)電極部的區(qū)域中，并朝向可動(dòng)體而突出。

根據(jù)這樣的傳感器元件，包括第一檢測(cè)電極部以及第二檢測(cè)電極部，并且以與這些檢測(cè)電極部對(duì)置的方式設(shè)置了可動(dòng)體。另外，設(shè)有表面的至少一部分為絕緣體的第一突起部和第二突起部。第一突起部以從設(shè)有第一檢測(cè)電極部的區(qū)域朝向可動(dòng)體而突出的方式被設(shè)置。另外，第二突起部以從設(shè)有第二檢測(cè)電極部的區(qū)域朝向可動(dòng)體而突出的方式被設(shè)置。