[發明專利]傳感器元件、電子設備、以及移動體

有效

• 申請號: 201410206151.2
• 申請日: 2014-05-15
• 公開（公告）號: CN104166013B
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 高木成和
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/00
• 分類號: G01P15/00
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

1.一種傳感器元件，其特征在于，當將相互垂直的三個軸設為X軸、Y軸以及Z軸時，設有：

檢測電極部；

可動體，其在所述Z軸方向上與所述檢測電極部對置設置；

突起部，在從所述Z軸方向上進行俯視觀察時，所述突起部被設置在設有所述檢測電極部的區域中，并朝向所述可動體而突出，

所述可動體包括沿著所述X軸而排列的第一可動體和第二可動體，

所述可動體將沿著所述Y軸且位于所述第一可動體與所述第二可動體之間的支軸作為旋轉軸，并能夠在所述Z軸方向上進行擺動，

所述突起部的表面的至少一部分為絕緣材料，

所述檢測電極部包括：

第一檢測電極部，其在所述Z軸方向上與所述第一可動體對置；

第二檢測電極部，其在所述Z軸方向上與所述第二可動體對置，

所述突起部包括第一突起部和第二突起部，在從所述Z軸方向上進行俯視觀察時，該第一突起部被設置在設有所述第一檢測電極部的區域中，并朝向所述第一可動體突出，該第二突起部被設置在設有所述第二檢測電極部的區域中，并朝向所述第二可動體而突出，

所述第一檢測電極部與所述第二檢測電極部之間設有槽部，

在所述槽部的外緣設有第一突出部以及第二突出部，所述第一突出部以與所述第一可動體對置的方式沿著所述槽部朝向所述第一可動體而突出，所述第二突出部以與所述第二可動體對置的方式沿著所述槽部朝向所述第二可動體而突出，

所述第一突出部由所述第一檢測電極部覆蓋，所述第二突出部由所述第二檢測電極部覆蓋。

2.一種傳感器元件，其特征在于，當將相互垂直的三個軸設為X軸、Y軸以及Z軸時，設有：

檢測電極部；

可動體，其在所述Z軸方向上與所述檢測電極部對置設置；

突起部，在從所述Z軸方向上進行俯視觀察時，所述突起部被設置在設有所述檢測電極部的區域中，并朝向所述可動體而突出，

所述可動體包括沿著所述X軸而排列的第一可動體和第二可動體，

所述可動體將沿著所述Y軸且位于所述第一可動體與所述第二可動體之間的支軸作為旋轉軸，并能夠在所述Z軸方向上進行擺動，

所述突起部的表面的至少一部分為絕緣材料，

所述檢測電極部包括：

第一檢測電極部，其在所述Z軸方向上與所述第一可動體對置；

第二檢測電極部，其在所述Z軸方向上與所述第二可動體對置，

所述突起部包括第一突起部和第二突起部，在從所述Z軸方向上進行俯視觀察時，該第一突起部被設置在設有所述第一檢測電極部的區域中，并朝向所述第一可動體突出，該第二突起部被設置在設有所述第二檢測電極部的區域中，并朝向所述第二可動體而突出，

設置有虛設電極部，所述虛設電極部至少一部分在所述Z軸方向上與所述可動體對置配置，并與所述檢測電極部電絕緣，

所述檢測電極部與所述虛設電極部之間設有槽部，

在所述槽部的外緣設有第一突出部以及第二突出部，所述第一突出部以與所述第一可動體對置的方式沿著所述槽部朝向所述第一可動體而突出，所述第二突出部以與所述第二可動體對置的方式沿著所述槽部朝向所述第二可動體而突出，

所述第一突出部由所述第一檢測電極部覆蓋，所述第二突出部由所述第二檢測電極部覆蓋。

3.如權利要求1或2所述的傳感器元件，其特征在于，

所述檢測電極部和所述突起部被設置在基板上，

所述突起部與所述基板被一體設置。

4.如權利要求1或2所述的傳感器元件，其特征在于，

在所述突起部的表面上設置有所述檢測電極部，且在所述突起部的與所述可動體抵接的部分設置有所述絕緣材料。

5.如權利要求2所述的傳感器元件，其特征在于，

所述虛設電極部被設為固定電位，或者與所述可動體電連接。

6.如權利要求2所述的傳感器元件，其特征在于，

在所述槽部的底面上至少延伸設置有所述檢測電極部和所述虛設電極部中的一方。

7.一種電子設備，其特征在于，安裝有權利要求1或2中所述的傳感器元件。

8.一種移動體，其特征在于，安裝有權利要求1或2中所述的傳感器元件。