[發明專利]一種掩膜板盒

有效

• 申請號: 201410206149.5
• 申請日: 2014-05-15
• 公開（公告）號: CN104007609B
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發明（設計）人: 錢宏偉;金基用;許朝欽;李向峰;孫增標;蔡春月
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G03F1/66
• 分類號: G03F1/66;B08B7/00;B08B5/04
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司11243
• 代理人: 許靜,黃燦

技術領域

本發明涉及顯示面板制造技術領域，尤其涉及一種掩膜板盒。

背景技術

在薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，簡稱TFT-LCD)及有機發光二極管顯示器(Organic Light Emitting Diode，簡稱OLED)的制造過程中，使用掩膜板(Mask)進行掩膜曝光工藝是非常重要的核心工藝，它既是決定產品品質的重要環節，也是影響產品良率的關鍵部分。由于掩膜曝光工藝對污染很敏感，需要嚴格控制工藝環節的潔凈度，對掩膜板的表面存在污染顆粒(Particle)需要嚴格管控，通常掩膜板需要存放于掩膜盒中，掩膜板盒為全封閉式盒體結構，可以減少外界環境的污染顆粒對掩膜板污染。但是隨著掩膜板使用次數增加，掩膜板在掩膜曝光工藝中還是不可避免的會被污染。

目前，TFT-LCD生產過程中所使用的掩膜板盒沒有清潔掩膜板的功能，當發生掩膜板顆粒污染(Mask Particle)時，往往需要至少兩個操作人員到生產現場進行掩膜板清潔(Mask Cleaning)。清潔時，需要將掩膜板盒的盒蓋(Case Cover)開啟，在將盒蓋開啟、閉合的過程中，很容易造成污染顆粒(Particle)的二次掉落，大大的延長了設備停運時間(Down Time)，且浪費人力。

發明內容

本發明的目的是提供一種掩膜板盒，結構簡單，可以方便地對掩膜板進行清潔，操作簡單，清潔效率高，節約人力。

本發明所提供的技術方案如下：

一種掩膜板盒，包括：

用于容置掩膜板的盒體結構；

及，能夠吸附所述盒體結構內的掩膜板表面上的污染顆粒，以清潔掩膜板的清潔機構，所述清潔機構設置于所述盒體結構上。

進一步的，所述清潔機構包括：

能夠在盒體結構上移動，以移動至所述盒體結構內的掩膜板的表面上預定位置處的吸附部件，所述吸附部件的吸附面朝向所述盒體結構內的掩膜板的表面設置；

設置于所述盒體結構上的導軌，所述吸附部件設置于所述導軌上，并能夠沿所述導軌移動；

及，用于驅動所述吸附部件沿所述導軌移動的驅動單元。

進一步的，所述驅動單元位于所述盒體結構外，所述吸附部件伸出所述盒體結構外，與所述驅動單元連接；

所述掩膜板盒還包括：用于封閉所述吸附部件與所述盒體結構之間形成的空隙，以與所述盒體結構配合阻止外界污染進入所述盒體結構內的封閉結構。

進一步的，所述導軌包括：沿盒體結構內的掩膜板的長度方向延伸，以使所述吸附部件沿所述掩膜板的長度方向移動的移動通槽，所述移動通槽設置于所述盒體結構的至少一側面上；

所述吸附部件自所述移動通槽伸出所述盒體結構外；所述封閉結構設置于所述移動通槽上，能夠在所述吸附部件移動過程中，封閉所述移動通槽的所述吸附部件之外的槽體部分，以與所述盒體結構配合阻止外界污染進入所述盒體結構內。

進一步的，所述吸附部件包括：

能夠在所述盒體結構內的掩膜板的寬度方向上從掩膜板的一側延伸至掩膜板的另一側的真空吸附管，所述真空吸附管可移動地設置于所述移動通槽內；

及，用于為所述真空吸附管提供真空吸附動力的真空氣體供應單元；

其中，所述真空吸附管的內部中空，所述真空吸附管的面向掩膜板的吸附面上分布有多個吸盤；所述真空吸附管的至少一端端部自所述移動通槽伸出所述盒體結構外，且在所述真空吸附管的伸出所述盒體結構外的端部設置有用于與所述真空氣體供應單元連通的真空接口。

進一步的，所述真空接口上可拆卸地安裝有用于堵塞所述真空接口的塞子。

進一步的，所述移動通槽至少有兩個，至少兩個所述移動通槽分別設置于所述盒體結構的位于掩膜板的寬度方向上的相對兩側面上，所述真空吸附管的兩端端部分別可移動地設置于至少兩個移動通槽上，并分別自對應的所述移動通槽伸出所述盒體結構外。

進一步的，所述驅動單元包括：

用于驅動所述真空吸附管沿所述移動通槽移動的移動桿，所述移動桿與所述真空吸附管的伸出所述盒體結構外的端部連接。

進一步的，所述移動通槽在所述盒體結構內的掩膜板的長度方向上的延伸長度大于所述盒體結構內的掩膜板的長度，且所述移動桿與所述真空吸附管的伸出所述盒體結構外的端部活動連接，并能夠繞所述真空吸附管的軸心旋轉。

進一步的，所述封閉結構包括：