[發明專利]一種掩膜板盒

有效

• 申請號: 201410206149.5
• 申請日: 2014-05-15
• 公開（公告）號: CN104007609B
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發明（設計）人: 錢宏偉;金基用;許朝欽;李向峰;孫增標;蔡春月
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G03F1/66
• 分類號: G03F1/66;B08B7/00;B08B5/04
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司11243
• 代理人: 許靜,黃燦

1.一種掩膜板盒，其特征在于，包括：

用于容置掩膜板的盒體結構；

及，能夠吸附所述盒體結構內的掩膜板表面上的污染顆粒，以清潔掩膜板的清潔機構，所述清潔機構設置于所述盒體結構上；

所述清潔機構包括：

能夠在盒體結構上移動，以移動至所述盒體結構內的掩膜板的表面上預定位置處的吸附部件，所述吸附部件的吸附面朝向所述盒體結構內的掩膜板的表面設置；

設置于所述盒體結構上的導軌，所述吸附部件設置于所述導軌上，并能夠沿所述導軌移動；

及，用于驅動所述吸附部件沿所述導軌移動的驅動單元。

2.根據權利要求1所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述驅動單元位于所述盒體結構外，所述吸附部件伸出所述盒體結構外，與所述驅動單元連接；

所述掩膜板盒還包括：用于封閉所述吸附部件與所述盒體結構之間形成的空隙，以與所述盒體結構配合阻止外界污染進入所述盒體結構內的封閉結構。

3.根據權利要求2所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述導軌包括：沿盒體結構內的掩膜板的長度方向延伸，以使所述吸附部件沿所述掩膜板的長度方向移動的移動通槽，所述移動通槽設置于所述盒體結構的至少一側面上；

所述吸附部件自所述移動通槽伸出所述盒體結構外；所述封閉結構設置于所述移動通槽上，能夠在所述吸附部件移動過程中，封閉所述移動通槽的所述吸附部件之外的槽體部分，以與所述盒體結構配合阻止外界污染進入所述盒體結構內。

4.根據權利要求3所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述吸附部件包括：

能夠在所述盒體結構內的掩膜板的寬度方向上從掩膜板的一側延伸至掩膜板的另一側的真空吸附管，所述真空吸附管可移動地設置于所述移動通槽內；

及，用于為所述真空吸附管提供真空吸附動力的真空氣體供應單元；

其中，所述真空吸附管的內部中空，所述真空吸附管的面向掩膜板的吸附面上分布有多個吸盤；所述真空吸附管的至少一端端部自所述移動通槽伸出所述盒體結構外，且在所述真空吸附管的伸出所述盒體結構外的端部設置有用于與所述真空氣體供應單元連通的真空接口。

5.根據權利要求4所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述真空接口上可拆卸地安裝有用于堵塞所述真空接口的塞子。

6.根據權利要求4所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述移動通槽至少有兩個，至少兩個所述移動通槽分別設置于所述盒體結構的位于掩膜板的寬度方向上的相對兩側面上，所述真空吸附管的兩端端部分別可移動地設置于至少兩個移動通槽上，并分別自對應的所述移動通槽伸出所述盒體結構外。

7.根據權利要求4所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述驅動單元包括：

用于驅動所述真空吸附管沿所述移動通槽移動的移動桿，所述移動桿與所述真空吸附管的伸出所述盒體結構外的端部連接。

8.根據權利要求7所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述移動通槽在所述盒體結構內的掩膜板的長度方向上的延伸長度大于所述盒體結構內的掩膜板的長度，且所述移動桿與所述真空吸附管的伸出所述盒體結構外的端部活動連接，并能夠繞所述真空吸附管的軸心旋轉。

9.根據權利要求4所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述封閉結構包括：

沿所述盒體結構內的掩膜板的長度方向布置在所述移動通槽的開口相對邊緣上的拉鎖；

設置在所述真空吸附管的一側，能夠在所述真空吸附管移動時，打開位于所述真空吸附管移動前方的拉鎖，并使得所述拉鎖的打開距離大于所述真空吸附管的外徑的開鎖裝置；

及，設置在所述真空吸附管的另一側，能夠在所述真空吸附管移動時，鎖閉位于所述真空吸附管移動后方的拉鎖的閉鎖裝置。

10.根據權利要求1所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述掩膜板盒還包括設置于所述盒體結構上，用于防止產生靜電的靜電除塵裝置。