[發明專利]加熱設備

有效

• 申請號: 201410204125.6
• 申請日: 2014-05-14
• 公開（公告）號: CN104674196B
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: P-A.伯丁;M.E.奧彭;K.艾倫;H.席爾瓦
• 申請（專利權）人: 艾克斯特朗歐洲公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 侯宇

一種設備，具有至少一個導電的第一接觸板(11)和至少一個導電的第二接觸板(12)和分別具備電阻加熱機構(1.3至9.3)的加熱件(1至9)，所述電阻加熱機構(1.3至9.3)借助第一連接觸頭(1.1至9.1)與所述第一接觸板(11)相連接并且借助第二連接觸頭(1.2至9.2)與所述第二接觸板(12)相連接。為了延長所述設備的使用壽命并減少制造成本，在此建議，所述兩個接觸板(11、12)位于共同的第一平面(E1)內。

技術領域

本發明涉及一種設備，具有至少一個導電的第一接觸板和至少一個導電的第二接觸板和分別具備電阻加熱機構的加熱件的，所述電阻加熱機構借助第一連接觸頭與所述第一接觸板相連接并且借助第二連接觸頭與所述第二接觸板相連接。

背景技術

用于加熱CVD(化學氣相沉積)反應器的基座的設備由現有技術、例如DE102009043960A1、DE102007009145A1、DE10329107A1、DE102005056536A1、DE102006018515A1或DE102007027704A1已知。

在已知的加熱件中，熱量由流過電阻加熱機構的電流產生。電阻加熱機構具有第一和第二端部，在這些端部上設有第一和第二連接觸頭。連接觸頭相互平行地延伸，但是具有不同的長度。第一、較短的連接觸頭與第一接觸板相連接，該接觸板由導電材料制成。但是，在第一接觸板的平行面內，第二電氣接觸板與電阻加熱機構有較大間距地延伸。兩個電氣接觸板一定程度上相疊地延伸。較長的第二連接觸頭穿過第一接觸板的開口，并且由此與第二接觸板相連接。被第二連接觸頭穿過的開口比第二連接觸頭的直徑要大，因而在開口的邊緣和第二連接觸頭之間存在間距。這種間距自由空間影響第二連接觸頭與第一接觸板的絕緣性。在加熱和冷卻加熱件的屬于現有技術的電阻加熱機構時會導致巨大的熱應力。這種機械應力能夠導致接觸板不可逆的變形。這會導致，在長時間使用后和尤其在多次加熱和冷卻后，在第二連接觸頭和導電的第一接觸板的開口之間形成短路。隨后，理論上這會導致整個加熱件的毀壞。在此，在使用所述設備時，通過金屬的揮發還能夠污染CVD反應器的處理室。

發明內容

本發明所要解決的技術問題在于，在減少制造費用的情況下延長設備的使用壽命。