[發(fā)明專利]一種用于片狀基片上熱色涂層材料的連續(xù)退火裝置

有效

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• 申請日: 2014-05-14
• 公開（公告）號: CN104004888A
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發(fā)明（設計）人: 徐剛;詹勇軍;熊斌;黃華凜;孫耀明
• 申請（專利權）人: 中國科學院廣州能源研究所
• 主分類號: C21D1/26
• 分類號: C21D1/26;C21D9/46
• 代理公司: 廣州科粵專利商標代理有限公司 44001
• 代理人: 莫瑤江

1.一種用于片狀基片上熱色涂層材料的連續(xù)退火裝置，其特征是：包括工作平臺(1)，所述工作平臺(1)上設有進料區(qū)、工作區(qū)和下料區(qū)；還包括傳輸機構，所述傳輸機構貫通整個進料區(qū)、工作區(qū)和下料區(qū)；在工作區(qū)內，所述工作平臺(1)上設有熱處理室和若干個真空室；所述熱處理室設在所述真空室之間，通過密封裝置與真空室分隔；所述熱處理室包括工作腔(50)，所述工作腔(50)呈雙層結構，包括內腔(501)和外壁(502)，內腔(501)和外壁(502)之間設有用于流動冷卻劑的冷卻夾層(503)，內腔(501)的內表面涂覆吸熱涂層(504)；所述熱處理室包括真空區(qū)(4)、熱處理區(qū)(5)和冷卻區(qū)(6)；在傳輸機構的上方，所述熱處理區(qū)(5)內設有若干支位于同一水平面并聯(lián)排布的熱輻射燈管(56)；在傳輸機構的上方或/和下方，所述冷卻區(qū)內設有若干排冷卻管(64)；所述熱處理室與真空泵組相連通。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于片狀基片上熱色涂層材料的連續(xù)退火裝置，其特征是：最下游真空室與所述下料區(qū)之間設有風柵急冷區(qū)(8)；所述風柵急冷區(qū)(8)內設有若干條風管；所述風管分布在所述傳輸機構的上方和下方；所述風管上設有若干個風嘴。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種用于片狀基片上熱色涂層材料的連續(xù)退火裝置，其特征是：所述隔離段(53)與所述真空室之間設有用于測量基片的整體溫度均勻性分布以及表層溫度高低的紅外熱成像儀(84)。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種用于片狀基片上熱色涂層材料的連續(xù)退火裝置，其特征是：所述熱處理區(qū)(5)包括用于隔離可控氣氛的隔離段(53)；所述熱輻射燈管(56)分布在預熱段(51)和退火段(52)內；所述隔離段(53)設在退火段(52)的下游位置。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種用于片狀基片上熱色涂層材料的連續(xù)退火裝置，其特征是：所述真空室的工作腔呈雙層結構，包括內腔和外壁，內腔和外壁之間設有用于流動冷卻劑的冷卻夾層。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種用于片狀基片上熱色涂層材料的連續(xù)退火裝置，其特征是：還包括由金屬材質制成的冷卻箱體(66)；所述冷卻箱體(66)安設在地表下，與所述冷卻管(64)連通。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種用于片狀基片上熱色涂層材料的連續(xù)退火裝置，其特征是：所述熱處理區(qū)(5)與真空區(qū)(4)和冷卻區(qū)(6)之間均設有隔板，所述隔板與所述熱處理室的內腔之間留有供基片通過的水平夾縫。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種用于片狀基片上熱色涂層材料的連續(xù)退火裝置，其特征是：所述真空室和所述熱處理室真空區(qū)(4)和冷卻區(qū)(6)的上蓋板設有升降裝置；所述上蓋板通過升降裝置能實現(xiàn)升降。

9.根據(jù)權利要求1所述的一種用于片狀基片上熱色涂層材料的連續(xù)退火裝置，其特征是：所述工作腔(50)上設有若干支位于同一水平面的并列排布的石英玻璃管(55)，所述石英玻璃管(55)穿過所述熱處理室的工作腔(50)，與工作腔(50)通過耐溫膠圈(57)密封連接；所述耐溫膠圈(57)上設有冷卻保護裝置；所述工作腔(50)的兩側設有用于懸掛熱輻射燈管的支架，所述熱輻射燈管(56)設在所述石英玻璃管(55)內，通過所述支架懸掛安裝；所述熱輻射燈管(56)距離基片上的熱色涂層材料的垂直距離為5～100mm；所述熱輻射燈管(56)的兩端還設有用于冷卻燈管端頭的空氣冷卻裝置。所述熱輻射燈管背離基片的一側涂覆有熱反射涂層；所述熱輻射燈管是紅外輻射燈管、鹵素輻射燈管、頻閃加熱燈管或高功率電阻式燈管。

10.根據(jù)權利要求1所述的一種用于片狀基片上熱色涂層材料的連續(xù)退火裝置，其特征是：所述真空室和所述熱處理室內設有若干個定位傳感器；所述傳輸機構由若干段傳輸輥(10)組成，每段傳輸輥(10)至少連接一臺可獨立運行的傳動電機。