[發明專利]等離子體處理裝置有效
| 申請號： | 201410203140.9 | 申請日： | 2014-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN104157541B | 公開（公告）日： | 2017-09-22 |
| 發明（設計）人： | 佐藤亮;內藤啟;里吉務;古屋敦城 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司11322 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 處理 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種等離子體處理裝置，其特征在于，包括：
收納被處理體的處理容器；和
輸出用于在所述處理容器內生成等離子體的高頻電力的高頻電源部，其中，
所述高頻電源部包括；
生成高頻信號的多個振蕩部；
基于由所述振蕩部生成的高頻信號，進行功率放大得到高頻電力的多個功率放大部；
將來自各功率放大部的高頻電力合成為單一高頻電力的電力合成部，其中，多個所述功率放大部彼此并聯地連接到電力合成部上；
以相等的路徑長度連接所述功率放大部和所述電力合成部的多個供電線；和
控制所述振蕩部的第一控制部；
所述振蕩部與所述功率放大部一一對應地設置，所述第一控制部進行控制，使得從多個所述振蕩部對多個所述功率放大部分別送出的高頻信號為同相。
2.如權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于：
所述電力合成部包括多層級地階層狀配備的多個合成器和將階層不同的所述合成器之間以相等的路徑長度進行連接的多個供電線，來自所述功率放大部的高頻電力被多層級地合成。
3.如權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于：
從多個所述振蕩部向多個所述功率放大部分別發送高頻信號的多個傳送路徑設置成相等的路徑長度。
4.如權利要求1～3中任一項所述的等離子體處理裝置，其特征在于：還具有控制所述第一控制部的第二控制部。
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