[發(fā)明專利]晶盒倉儲(chǔ)柜擱架的配置方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410201232.3
• 申請(qǐng)日: 2014-05-13
• 公開（公告）號(hào): CN103991665A
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘結(jié)實(shí);黃揚(yáng)君;劉建濤;王亞寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): B65G1/137
• 分類號(hào): B65G1/137
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及半導(dǎo)體晶盒倉儲(chǔ)柜擱架的配置方法。

背景技術(shù)

由于集成電路的發(fā)展速度快，晶圓廠建設(shè)成本高，同時(shí)半導(dǎo)體制造設(shè)備價(jià)格昂貴，所以晶圓廠對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的有效利用率的要求也不斷提高，其中，半導(dǎo)體設(shè)備包括立式氧化爐、低溫退火爐、高溫退火爐等批處理設(shè)備，而半導(dǎo)體晶圓被放在FOUP(晶圓傳送盒，簡(jiǎn)稱晶盒)中，每個(gè)FOUP能夠攜帶25個(gè)300毫米直徑的晶圓。

現(xiàn)有倉儲(chǔ)柜擱架一般設(shè)有16個(gè)晶盒位，每個(gè)晶盒位配置一晶盒，晶盒及晶盒位通常包括4種類型，分別為Product、Dummy、Extra?Dummy和Monitor。通常倉儲(chǔ)柜擱架的16個(gè)晶盒位對(duì)應(yīng)配置的晶盒位的類型為：8個(gè)Product+1個(gè)Dummy+5個(gè)Extra?Dummy+2個(gè)Monitor，即4種類型晶盒位，共16個(gè)晶盒位。

如圖1所示，圖1為現(xiàn)有晶盒倉儲(chǔ)柜擱架的配置方法步驟流程圖。現(xiàn)有技術(shù)中，將晶盒配置在倉儲(chǔ)柜擱架上的步驟為：步驟S1、檢測(cè)單元獲取晶盒類型，檢測(cè)單元將信號(hào)反饋至控制單元；其中，晶盒包括4種類型，即Product、Dummy、Extra?Dummy和Monitor中的任意一種；步驟S2，所述控制單元判斷倉儲(chǔ)柜擱架上同類型的晶盒位是否已存滿；步驟S3，所述控制單元發(fā)出命令控制機(jī)械手取放晶盒，如同類型的晶盒位空置，則機(jī)械手將該晶盒配置在該倉儲(chǔ)柜擱架上的同類型的晶盒位上，如同類型的晶盒位存滿，該倉儲(chǔ)柜將不能再存放該類型的晶盒。

但現(xiàn)有晶盒倉儲(chǔ)柜擱架的配置方法存在一定缺陷，例如：當(dāng)晶盒其中一種類型在該倉儲(chǔ)柜擱架上相應(yīng)類型的晶盒位已經(jīng)存儲(chǔ)滿時(shí)，則該倉儲(chǔ)柜將不能再存放該類型的晶盒，即便該倉儲(chǔ)柜擱架上其他類型的晶盒位處于空置狀態(tài)，因此，倉儲(chǔ)柜擱架的利用率未能得到充分利用，提供一種晶盒倉儲(chǔ)柜擱架的配置方法稱為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)是提供一種晶盒倉儲(chǔ)柜擱架的配置方法，提高了倉儲(chǔ)柜擱架的利用率，使倉儲(chǔ)柜擱架的使用更加靈活。

本發(fā)明提供的一種晶盒倉儲(chǔ)柜擱架的配置方法，倉儲(chǔ)柜擱架上設(shè)有固定數(shù)量的不同類型的晶盒位，包括以下步驟：

步驟S1、檢測(cè)單元獲取晶盒類型，檢測(cè)單元將信號(hào)反饋至控制單元；

步驟S2、所述控制單元判斷倉儲(chǔ)柜擱架上同類型的晶盒位是否已存滿；

步驟S3、所述控制單元發(fā)出命令控制機(jī)械手取放晶盒，機(jī)械手配置晶盒包括可選擇類型模式和無選擇類型模式，所述可選擇類型模式為：預(yù)設(shè)倉儲(chǔ)柜擱架上晶盒位的類型，根據(jù)晶盒位的類型將同類型的晶盒配置到倉儲(chǔ)柜擱架上；所述無選擇類型模式為：將倉儲(chǔ)柜擱架上晶盒位的類型默認(rèn)為無類型，將晶盒配置到倉儲(chǔ)柜擱架上的晶盒位上，根據(jù)晶盒類型改變晶盒位的類型，使晶盒位的類型與晶盒保持一致；所述機(jī)械手選擇其中一種模式將晶盒配置在所述倉儲(chǔ)柜擱架上，直至將待置晶盒配置完畢。

優(yōu)選的，所述機(jī)械手在配置晶盒的過程中可切換另一種模式繼續(xù)配置晶盒。

優(yōu)選的，所述可選擇類型模式中，所述控制單元對(duì)同類型的晶盒位進(jìn)行編號(hào)，所述編號(hào)由小到大排序。

優(yōu)選的，所述機(jī)械手配置晶盒按晶盒位編號(hào)由小到大排序。

優(yōu)選的，所述無選擇類型模式中，對(duì)倉儲(chǔ)柜擱架上的所有的晶盒位進(jìn)行編號(hào)，所述編號(hào)由小到大排序。

優(yōu)選的，所述機(jī)械手配置晶盒按晶盒位編號(hào)由小到大排序。

優(yōu)選的，所述倉儲(chǔ)柜擱架上設(shè)有16個(gè)晶盒位。

優(yōu)選的，所述晶盒和晶盒位設(shè)有4種不同類型。其中，所述晶盒和晶盒位的4種類型包括Product、Dummy、Extra?Dummy和Monitor。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的晶盒倉儲(chǔ)柜擱架的配置方法，通過同時(shí)設(shè)有可選擇類型模式以及無選擇類型模式，靈活選擇配置晶盒的模式，提高了倉儲(chǔ)柜擱架的利用率，使倉儲(chǔ)柜擱架的使用更加充分。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有晶盒倉儲(chǔ)柜擱架的配置方法步驟流程圖；

圖2為本發(fā)明提供的晶盒倉儲(chǔ)柜擱架的配置方法步驟流程圖。

具體實(shí)施方式