[發明專利]一種用于真空磁控濺射粉紅色金靶材及其制備方法有效
| 申請號： | 201410201201.8 | 申請日： | 2014-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN103938174A | 公開（公告）日： | 2014-07-23 |
| 發明（設計）人： | 趙宏達;劉革;于志凱 | 申請（專利權）人： | 沈陽東創貴金屬材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/14;C22C5/02;C22C1/02 |
| 代理公司： | 沈陽東大知識產權代理有限公司 21109 | 代理人： | 梁焱 |
| 地址： | 110015 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 真空 磁控濺射 粉紅色 金靶材 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于真空磁控濺射粉紅色金靶材，其特征在于成分按重量百分比含Au?82.0~95.0%，Pd?0.5~7.0%，Fe?0.3~4.0%，Cu?0.5~3.0%，Cr?0.1~3.0%，In?0.05~1.0%。
2.一種權利要求1所述的用于真空磁控濺射粉紅色金靶材的制備方法，其特征在于按以下步驟進行：
（1）按配比準備Au，Pd?、Fe、Cu、Cr和In作為原料；將Au加熱熔化，然后將Pd放入熔化的Au中，當Au和Pd互熔后，向AuPd熔體中依次加入Fe、Cu、Cr和In；
（2）當全部金屬熔化后將金屬熔體攪拌均勻，然后加熱至1200~1300℃，保溫3~5min進行精煉；
（3）將精煉后的金屬熔體澆注到預熱至100~150℃的模具中，空冷至常溫，獲得鑄坯；
（4）將鑄坯經過銑面、軋制、退火、剪切和校平，制成用于真空磁控濺射粉紅色金靶材。
3.根據權利要求2所述的用于真空磁控濺射粉紅色金靶材的制備方法，其特征在于所述的模具的材質為鑄鐵。
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