[發明專利]用于真空鍍膜的玻璃基板架及其鍍膜系統和鍍膜系統的傳輸方法

有效

• 申請號: 201410197259.X
• 申請日: 2014-05-12
• 公開（公告）號: CN103993289B
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發明（設計）人: 趙軍;劉鈞;陳金良;許倩斐
• 申請（專利權）人: 浙江上方電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/56
• 代理公司: 湖州金衛知識產權代理事務所(普通合伙)33232
• 代理人: 趙衛康

技術領域

本發明屬于真空鍍膜中的玻璃基板傳輸技術，尤其是涉及一種用于真空鍍膜的玻璃基板架及其鍍膜系統和鍍膜系統的傳輸方法。

背景技術

玻璃基板是構成液晶顯示器件的一個基本部件，是平板顯示產業的關鍵基礎材料之一。玻璃基板是一種表面及其平整的薄玻璃片，平板顯示屏幕、低輻射玻璃和智能玻璃市場的迅速增長要求在玻璃基板表面鍍制各種不同材料的膜層。

在傳統的真空鍍膜過程中，玻璃基板的承載和固定是由帶有夾具的玻璃基板架實現。雖然，帶有夾具的玻璃基板架能夠支承玻璃基板，避免玻璃基板易晃動，但夾具的引入帶來了另外一些問題。在濺射鍍膜過程中，玻璃基板架與旋轉靶材保持相互平行，玻璃基板架沿著垂直于旋轉靶材的方向傳輸，玻璃基板架傳輸過程中會造成玻璃基板的震動，而夾具的夾持力量在反復震動下產生間歇性松動，導致玻璃基板與玻璃基板架相對滑動，造成玻璃基板表面劃傷，使得鍍膜不均勻，并出現鍍膜陰影，同時相對滑動使得玻璃基板碰撞夾具或脫離夾具的夾持而破損。另外，夾具上的膜層在長時間后可能脫落造成小顆粒污染玻璃表面，形成薄膜缺陷，降低了鍍膜良品率。

實用新型專利CN202631893U公開了一種玻璃基板固定夾具，所述固定夾具包括邊框和固定在邊框上的支撐件。所述邊框包括側邊條、頂邊條和底邊條，在所述側邊條和/或頂邊條設置有夾扣。該實用新型利用支承件分擔夾扣固定玻璃基板的支撐力，在支撐件和夾扣的作用下更加牢固地夾持玻璃基板，改善了僅用夾具夾持玻璃基板夾持不夠穩固的問題。但是，夾扣和支撐件都是直接接觸玻璃基板表面，在實際使用中，夾扣和支撐件受鍍膜震動影響，造成玻璃基板表面劃傷，仍有鍍膜陰影問題、夾扣和支撐件鍍膜后膜層脫落小顆粒污染引起的鍍膜缺陷問題以及玻璃基板破損的可能。

發明內容

本發明針對現有技術存在的上述不足，提供一種結構簡單、穩定支撐玻璃基板和具有優良鍍膜效果的不需要使用夾具的玻璃基板架及其傳輸方法和鍍膜系統。

用于真空鍍膜的玻璃基板架，其特征在于，包括至少一個凹形的用來裝載玻璃基板的底面封閉或底面中空的邊框容置區。所述玻璃基板架利用凹形的邊框容置區承裝玻璃基板，即使在真空鍍膜過程中發生震動，玻璃基板也不易滑落出凹的邊框容置區。

所述邊框容置區包括用以支撐玻璃基板的底面和形成所述邊框容置區的邊框的外周邊，所述邊框容置區的外周邊與所述玻璃基板架表面平齊或所述邊框容置區的外周邊從所述玻璃基板架表面向外延伸。

所述底面與所述玻璃基板架表面垂直距離為0.5~5mm；或者所述邊框容置區的外周邊與所述玻璃基板架表面的垂直距離為0.5mm~5mm。

所述邊框容置區支撐玻璃基板的位置設置緩沖部件。

所述玻璃基板架由金屬或耐高溫板加工制成。

具有所述用于真空鍍膜的玻璃基板架的鍍膜系統，其特征在于，還包括玻璃基板架傳輸裝置以及與所述玻璃基板架平行設置的鍍膜裝置。玻璃基板的鍍膜工序在由設有多個凹形的邊框容置區的玻璃基板、玻璃基板架傳輸裝置和鍍膜裝置組成的鍍膜系統中實現，該鍍膜系統適用多種鍍膜技術，鍍膜成品率高且品質優良。

所述鍍膜裝置與所述玻璃基板架的平行間距為10mm~1000mm。

所述鍍膜裝置為采用旋轉陰極靶材或平面陰極靶材的磁控濺射源。

使用所述鍍膜系統的傳輸方法，其特征在于，所述玻璃基板架傾斜站立在所述玻璃基板架傳輸裝置上；所述邊框容置區與所述玻璃基板架的水平方向的底邊水平線形成傾斜角度。所述玻璃基板架除利用凹形的邊框容置區外，還利用玻璃基板架與玻璃基板架傳輸裝置以及邊框容置區與玻璃基板架的位置關系，使得玻璃基板在不使用夾具的情況下仍能穩固于玻璃基板上，鍍膜均勻，良品率提高。

所述玻璃基板架的所在面與所述玻璃基板架傳輸裝置的水平面方向所構成的玻璃基板架傾角θ為70°~89°，所述邊框容置區的邊緣與所述玻璃基板架的水平方向的底邊水平線所構成的玻璃基板架容置區傾角β為1°~30°。

本發明的有益效果：本發明用于真空鍍膜的玻璃基板架及其鍍膜系統結構簡單，利用所述鍍膜系統的傳輸方法通過玻璃基板架的凹形邊框容置區以及玻璃基板架和凹形邊框容置區分別與玻璃基板架傳輸裝置和玻璃基板架的位置關系代替夾具實現玻璃基板的穩固傳輸，并解決了因夾具影響使得玻璃基板鍍膜陰影、小顆粒污染等良品率低的問題。

附圖說明

下面將參照附圖對本發明的具體實施方案進行更詳細的說明，其中：