[發明專利]加工裝置有效

申請號：	201410193909.3	申請日：	2014-05-08
公開（公告）號：	CN104167378B	公開（公告）日：	2018-06-29
發明（設計）人：	關家一馬	申請（專利權）人：	株式會社迪思科
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67;B28D5/00
代理公司：	北京三友知識產權代理有限公司 11127	代理人：	李輝;蔡麗娜
地址：	日本***	國省代碼：	日本;JP
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摘要：
搜索關鍵詞：	被加工物加工條件特征圖案加工裝置控制構件保持構件攝像構件圖像信號存儲器存儲加工加工構件同一性拍攝
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【權利要求書】：

1.一種加工裝置，其具備：被加工物保持構件，其保持形成有器件的晶片；加工構件，其對由該被加工物保持構件保持的晶片進行加工；以及攝像構件，其對由該被加工物保持構件保持的晶片進行拍攝，

所述加工裝置的特征在于，

所述加工裝置具備控制構件，所述控制構件根據來自該攝像構件的圖像信號設定加工條件，

該控制構件具備存儲器，在所述存儲器中存儲與該晶片的種類對應的多個加工條件、和與該晶片的種類對應的多個特征圖案，所述控制構件對由該攝像構件拍攝到的形成于該晶片的器件的特征圖案的圖像信號、和存儲于存儲器的多個特征圖案進行對照，確定出與圖像信號具有同一性的特征圖案，將與該確定出的特征圖案對應的晶片的加工條件決定為待加工的晶片的加工條件，

該特征圖案是在校準工序中被該攝像構件拍攝而用于位置對準作業的特征圖案。

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