[發明專利]一種檢測裝置和方法

在審

• 申請號: 201410189782.8
• 申請日: 2014-05-07
• 公開（公告）號: CN103968759A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 姚化禮;許朝欽;羅麗平;孫增標;慕紹帥;劉會雙
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/14
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及薄膜場效應晶體管制造技術領域，尤其涉及一種檢測裝置和方法。

背景技術

薄膜場效應晶體管(Thin Film Transistor，簡稱TFT)的制造工序復雜，對應的產品型號多，一般生產線上的產品多數處于不同的工序，為了更好的區分這些產品，在玻璃基板上面制作一個唯一的標識ID。該ID是生產線上產品唯一身份證明，用于產品的制程，問題的追蹤，以及后續測試等相關工序直到進行對盒。

現有技術方案的制程中，該玻璃基板的標識在玻璃基板的位置僅僅是靠指定數量的人工抽檢實現的，因此抽查力度和抽查精度都因人而異。但是，由于工作人員數量有限，可能會出現由于人眼觀測的范圍和標準的不同，導致該ID圖像在位置上出現偏差；甚至會出現某個玻璃基板上的ID圖形位置不正確，但是工作人員并未發現的問題。這樣，會嚴重的影響工作效率，發生生產事故。

發明內容

本發明的實施例提供一種檢測裝置和方法，解決了在檢測基板上的ID圖形的位置是否偏移的時候采用人工使用人眼觀測導致ID圖形在位置上出現偏差，甚至錯誤的問題，避免了生產事故的發生，提高了工作效率。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

第一方面，提供一種檢測裝置，所述檢測裝置包括：光源、第一影像信息獲取設備、第一電荷耦合器件CCD和第一分光片，其中：

所述光源，用于發出第一光信號，為所述基板提供光亮；

所述第一影像信息獲取設備位于所述基板上的第一ID圖形的上方，用于將接收到的所述光源發射的所述第一光信號發射至所述基板，并獲取所述第一光信號發射到所述基板上的所述第一ID圖像的邊沿和所述基板的邊沿產生的第一圖像光信號，并將所述第一圖像光信號發射至所述第一分光片；

所述第一分光片，用于將所述第一圖像光信號發射至所述第一CCD；

所述第一CCD，用于對接收到的所述第一圖像光信號進行波峰分析，得到所述基板上的所述第一ID圖形的邊沿與所述基板的邊沿之間的距離。

可選的，所述裝置還包括：第一反光鏡，其中：

所述第一反光鏡，用于將所述光源發出的所述第一光信號反射至所述第一分光片，同時濾除所述第一光信號中的干擾光信號；

所述第一分光片，還用于將接收到的所述第一光信號發射至所述第一影像信息獲取設備。

可選的，所述裝置還包括：第二分光片、第三分光片、第二影像信息獲取設備和第二電荷耦合器件CCD，其中：

所述第二分光片，用于將所述光源發出的所述光信號分為兩束光信號：第一光信號和第二光信號，并將所述第二光信號發射至所述第三分光片；

所述第三分光片，用于將所述第二光信號發射至所述第二影像信息獲取設備；

所述第二影像信息獲取設備位于所述基板上的第二ID圖形的上方，用于將接收到的所述第二光信號發射至所述基板，并獲取所述第二光信號發射到所述基板上的所述第二ID圖像的邊沿和所述基板的邊沿產生的第二圖像光信號，并將所述第二圖像光信號發射至所述第三分光片；

所述第三分光片，還用于將所述第二圖像光信號發射至所述第二CCD；

所述第二CCD用于對接收到的所述第二圖像光信號進行波峰分析，得到所述基板上的所述第二ID圖形的邊沿與所述基板的邊沿之間的距離。

可選的，所述裝置還包括：第二反光鏡，其中：

所述第二反光鏡，用于將所述第二光信號反射至所述第三分光片，同時濾除所述第二光信號中的干擾光信號。

第二方面，提供一種檢測方法，所述方法包括：

通過所述光源發射第一光信號至第一影像信息獲取設備；

通過第一影像信息獲取設備將接收到的所述光源發出的所述第一光信號發射至所述基板，并獲取所述第一光信號發射到所述基板的第一ID圖像的邊沿和所述基板的邊沿而產生的第一圖像光信號，并通過所述第一影像信息獲取設備經所述第一圖像光信號發射至所述第一分光片；

通過所述第一分光片將所述第一圖像光信號發射至所述第一CCD；

通過所述第一CCD分析接收到的所述第一圖像光信號，計算所呈現的兩個波峰值之間的差值，如果所述差值大于預設閾值，則返回異常信息至終端。

可選的，所述方法還包括：

通過第一反光鏡濾除所述第一光信號中的干擾光信號，并將所述第一光信號發射至第一分光片；

通過所述第一分光片將所述第一反光鏡發射的所述第一光信號發射至所述第一影像信息獲取設備。

可選的，所述方法還包括：