[發明專利]吸光性優異且適于形成微細圖案的感光性組合物

在審

• 申請號: 201410183532.3
• 申請日: 2014-04-30
• 公開（公告）號: CN105022226A
• 公開（公告）日: 2015-11-04
• 發明（設計）人: 金哲鎬;孔炳善;李珉成;鄭賢真
• 申請（專利權）人: 株式會社KCC
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 謝順星;王瑩

技術領域

本發明涉及一種吸光性優異且適于形成微細圖案的感光性組合物，更詳細而言，涉及一種利用通過紫外線燈和光掩模曝光的一次性曝光法或利用來自紫外線燈的光或短波長激光的直接描繪法來形成用于實現所希望圖案的固化部分，并通過堿性水溶液將未固化部分用于顯影的感光性組合物，涉及一種感光性組合物及其固化物，以及通過將所述組合物涂敷于載體薄膜上之后進行干燥而得到的干膜。優選地，所述感光性組合物在曝光前的干燥涂膜厚度為25μm時對于355nm及375nm波長的吸光度為1.2～1.8，對于405nm波長的吸光度為0.6以上。

背景技術

阻焊劑(solder?resist)是涂敷于印刷電路板的功能性涂覆材料，其對搭載電子部件的部位以外的部件進行掩模以進行保護，并且在焊接時起到防止焊橋的作用。阻焊劑膜通常通過印刷法或光刻法形成于基板上，最近，隨著電路的高密度化趨勢，光刻法占90％以上。在液狀阻焊劑的一般作業工序中，在被玻璃纖維浸漬的環氧固化物上貼合銅薄板之后，在通過蝕刻工序形成有電路圖案的電路板上涂敷抗蝕劑，進行溶劑干燥工序而形成薄膜，對由規定圖案進行掩模的部分進行紫外線曝光而使基礎樹脂的分子量增加，從而賦予耐顯影液性，以防止在以后的顯影工序中曝光的部分被溶解，其后，在顯影工序中去除未曝光部分(未固化部)的薄膜并進行水洗之后，為提高焊接耐熱性、耐藥品性、絕緣特性等電路保護功能而通過后固化進一步提高交聯密度。

最近，隨著半導體的輕薄、短小化，強烈要求更薄的印刷電路板及更高分辨率的圖案。因此，在阻焊劑領域，容易進行較薄的涂敷工序、尺寸穩定性非常優異的干膜形態的產品以高端產品為中心迅速增長。

一直以來使用的最普遍的光刻法是如下一次性曝光法：利用來自產生紫外線的燈的光，通過光掩模對印刷電路板上形成干燥涂膜的阻焊劑整面進行曝光。該方法需要進行準確對準光掩模與基材位置的作業，不僅需要很長的時間，而且因在印刷電路板的電路形成過程中產生的尺寸變化而容易產生掩模與印刷電路板之間的尺寸差。尤其，在高端產品之一的倒裝芯片封裝工序中所適用的印刷電路板的情況下，要求精密的微細圖案，但該方法存在難以形成所要求水平的準確圖案的問題。

為了克服這種問題，提出并利用如下一種直接描繪法：以輸入到計算機的數據為基礎，利用單一波長的激光或來自產生紫外線的燈的光，不使用光掩模，在干燥的阻焊劑涂膜上直接形成圖案并進行曝光。按照光源該方法大體上分為兩種：即以紫色激光二極管為光源，利用h射線(405nm)的光或者YAG激光的355nm激光的方法；以及利用高壓汞燈的光的方法。在直接描繪法中，測定電路形成后的尺寸并利用計算機校正與設計值的偏差，從而能夠形成所希望的準確圖案，因此能夠克服一次性曝光法的問題即在印刷電路板的電路形成過程中產生的尺寸變化。但是，與作為整面曝光方法的一次性曝光法相比，具有需要更多時間、生產效率下降的缺點。上述兩種光刻法中，在曝光波長和強度方面都適用不同光源，因此在利用同一阻焊劑實現其特性時存在難題。

發明內容

(一)要解決的技術問題

本發明是為了解決如上所述的以往技術中的問題而完成的，其技術問題在于提供一種對于一次性曝光法及直接描繪法均能夠適用，尤其在直接描繪法中，不管是利用來自產生紫外線的燈的光作為光源或以激光的光作為光源，與波長無關地都能夠適用的感光性組合物及其固化物、以及通過將所述組合物涂敷于載體薄膜上之后進行干燥而得到的干膜。

(二)技術方案

為了解決如上所述的技術問題，本發明提供一種感光性組合物，其包含(1)含羧酸基樹脂100重量份，(2)光聚合引發劑0.1～20重量份，(3)具有1μm以下的平均粒徑及3μm以下的最大粒徑的填充劑0.1～300重量份，以及(4)分散劑0.1～5重量份。

根據本發明的另一方面，提供一種干膜，所述干膜通過將所述本發明的感光性組合物涂敷于載體薄膜上之后進行干燥而得到。

根據本發明的又一方面，提供一種在基板上形成圖案化的阻焊劑的方法，其包括如下步驟：向基板提供所述本發明的感光性組合物的干燥的層；對所述基板上的感光性組合物層進行曝光而形成潛在圖案；以及對所述曝光的感光性組合物層進行顯影。

根據本發明的又一方面，提供一種固化膜，所述固化膜通過使所述本發明的感光性組合物的涂覆層固化而得到。

根據本發明的又一方面，提供一種基板，所述基板包含所述本發明的感光性組合物的圖案化的固化膜。

(三)有益效果