[發(fā)明專利]用于測(cè)試磁場(chǎng)傳感器的裝置及其方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410181517.5
• 申請(qǐng)日: 2014-04-30
• 公開（公告）號(hào): CN104347444B
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金動(dòng)昊;曹基錫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 美格納半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 王萍;陳煒

提供一種用于測(cè)試磁場(chǎng)傳感器的裝置和方法，其中，該方法包括：布置線圈以產(chǎn)生磁場(chǎng)；使用線圈，將磁場(chǎng)施加到磁場(chǎng)傳感器；以及檢測(cè)施加到磁場(chǎng)傳感器的磁場(chǎng)。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

本申請(qǐng)要求2013年7月29日在韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的第10-2013-0089664號(hào)韓國(guó)專利申請(qǐng)的權(quán)益，其全部公開通過引用結(jié)合到本文用于所有目的。

技術(shù)領(lǐng)域

下面的描述涉及磁場(chǎng)傳感器測(cè)試裝置和磁場(chǎng)傳感器測(cè)試方法。

背景技術(shù)

“多軸磁場(chǎng)傳感器”是指被配置成通過檢測(cè)X、Y或Z軸上的磁場(chǎng)來感知方位角的傳感裝置(本文所用的“多軸”可以包括兩個(gè)或三個(gè)軸)。

通常，需要直接將磁場(chǎng)施加到待感測(cè)的X、Y或Z軸，以測(cè)試多軸磁場(chǎng)傳感器。因此，必須準(zhǔn)備線圈(例如電感器)以施加磁場(chǎng)，然后，電流流過線圈以測(cè)試磁場(chǎng)傳感器，同時(shí)根據(jù)預(yù)期幅度來改變磁場(chǎng)。

韓國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?0-2006-0060666提出了一種使用二軸磁場(chǎng)傳感器的裝置來解決與三軸羅盤相關(guān)聯(lián)的問題。

多軸磁場(chǎng)傳感器可以在晶片上或封裝中被測(cè)試。

為了在晶片上測(cè)試磁場(chǎng)傳感器，通常需要將均勻磁場(chǎng)施加到晶片的多軸方向。因此，在X、Y和Z軸方向上分別需要線圈。特別需要使用比晶片更大的線圈以測(cè)試Z軸方向，還需要施加更大的磁場(chǎng)，因?yàn)楦袦y(cè)磁場(chǎng)的范圍增加。然而，將更大電力施加到線圈這樣的需求通常會(huì)導(dǎo)致問題。

同時(shí)，為了在封裝中測(cè)試傳感器，通常使用插座。雖然該測(cè)試也針對(duì)X、Y和Z軸方向分別需要線圈，然而可以使用比晶片上測(cè)試所需線圈更小的線圈。然而，因?yàn)楸仨殞⒎庋b中的磁場(chǎng)傳感器放在插座中用于測(cè)試目的，所以需要分離的裝置。此外，因?yàn)榘错樞驕y(cè)試多個(gè)磁場(chǎng)傳感器芯片，所以測(cè)試通常花費(fèi)更長(zhǎng)的時(shí)間且導(dǎo)致更高的成本。

發(fā)明內(nèi)容

提供本發(fā)明內(nèi)容以簡(jiǎn)化形式介紹系列構(gòu)思，在下面的具體實(shí)施方式中將對(duì)其進(jìn)一步描述。本發(fā)明內(nèi)容不用于確定要保護(hù)的主題內(nèi)容的關(guān)鍵特征或本質(zhì)特征，也不用于幫助確定要保護(hù)的主題內(nèi)容的范圍。

在一個(gè)總的方面，用于測(cè)試晶片上的磁場(chǎng)傳感器的方法包括：在晶片上布置配置成產(chǎn)生磁場(chǎng)的線圈；使用線圈，將磁場(chǎng)施加到磁場(chǎng)傳感器；以及檢測(cè)施加到磁場(chǎng)傳感器的磁場(chǎng)。

磁場(chǎng)傳感器可以被配置成檢測(cè)具有多軸分量的磁場(chǎng)。

線圈可以具有比晶片的橫截面面積更小的橫截面面積。

該方法還可以包括在線圈區(qū)域內(nèi)且在遠(yuǎn)離線圈中心點(diǎn)的距離處布置磁場(chǎng)傳感器。

從磁場(chǎng)產(chǎn)生的磁場(chǎng)線和磁場(chǎng)傳感器的表面之間的入射角可以小于90度。

響應(yīng)于施加到磁場(chǎng)傳感器的磁場(chǎng)被分成X、Y和Z軸分量，X、Y和Z軸分量可以具有相似的值。

晶片可以形成在探針卡上。

針可以連接到探針卡，并且遠(yuǎn)離線圈中心點(diǎn)朝向線圈的邊布置。

該方法還可以包括在線圈區(qū)域外布置磁場(chǎng)傳感器。

該方法還可以包括在除線圈中心點(diǎn)之外的線圈區(qū)域內(nèi)的任何象限上布置磁場(chǎng)傳感器。

該方法還可以包括在線圈區(qū)域內(nèi)布置多個(gè)磁場(chǎng)傳感器。

在另一總的方面，一種用于測(cè)試磁場(chǎng)傳感器的裝置包括：包括磁場(chǎng)傳感器的晶片；以及被配置成產(chǎn)生磁場(chǎng)到磁場(chǎng)傳感器的環(huán)形線圈，其中，磁場(chǎng)傳感器放置在遠(yuǎn)離線圈中心點(diǎn)的距離處。

該裝置還可以包括：包括環(huán)形線圈的探針卡；以及連接到探針卡的針，其中，連接到探針卡的針遠(yuǎn)離線圈中心點(diǎn)朝向線圈的邊布置。

磁場(chǎng)傳感器可以布置在遠(yuǎn)離線圈中心點(diǎn)的位置且朝向線圈的邊布置。