[發明專利]泵

有效

• 申請號: 201410179769.4
• 申請日: 2014-04-30
• 公開（公告）號: CN104234979B
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發明（設計）人: 大坂泰介;田邊優作
• 申請（專利權）人: ULVAC機工株式會社
• 主分類號: F04B39/10
• 分類號: F04B39/10
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 崔幼平,李婷

1.一種泵，由簧片閥構成的吸氣閥以及排氣閥設在泵室的壓頭部，使該泵室內的容積變化，其特征在于，具有：

頂面板，其具有配置在前述泵室的壓頭部并具有吸氣口和排氣口的平板狀的頂面板用本體部，在該頂面板用本體部的排氣側面具有吸氣閥壓緊部，所述吸氣閥壓緊部以厚度朝向前述吸氣口而變薄地傾斜并且與前述吸氣口連續地形成為凹部狀；

吸氣閥部件，其具有相對于前述頂面板緊密貼合在排氣側地定位配置的平板狀的吸氣閥部件用本體部，前述吸氣閥與該吸氣閥部件用本體部一體地設在該吸氣閥部件用本體部上，并與前述頂面板的吸氣口以及吸氣閥壓緊部重合；

排氣閥部件，其具有相對于前述頂面板緊密貼合在排氣側地定位配置的平板狀的排氣閥部件用本體部，前述排氣閥與該排氣閥部件用本體部一體地設在該排氣閥部件用本體部上，并與前述頂面板的排氣口重合；

吸氣口部件，其具有相對于前述吸氣閥部件緊密貼合在排氣側地定位配置的平板狀的吸氣口部件用本體部，在該吸氣口部件用本體部上，與前述吸氣閥重合地設有吸氣用孔部；

排氣閥壓緊部件，其具有相對于前述排氣用部件緊密貼合在排氣側地定位配置的平板狀的排氣閥壓緊部件用本體部，在該排氣閥壓緊部件用本體部上，與前述排氣閥重合地設有排氣用孔部，并且以與前述排氣閥重合的方式與該排氣閥壓緊部件用本體部一體地設有排氣閥壓緊部。

2.如權利要求1所述的泵，其特征在于，

前述吸氣閥部件與前述排氣閥部件一體地構成。

3.如權利要求1所述的泵，其特征在于，

前述吸氣口部件與前述排氣閥壓緊部件一體地構成。

4.如權利要求1所述的泵，其特征在于，

前述吸氣口在前述頂面板上配置成與前述吸氣閥的頂端部重合。