[發明專利]一種等離子體處理的工藝控制方法及裝置

有效

• 申請號: 201410175598.8
• 申請日: 2014-04-28
• 公開（公告）號: CN103943452A
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發明（設計）人: 何祝兵;王春柱;蘇奇聰
• 申請（專利權）人: 南方科技大學
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種等離子體處理的工藝控制方法，其特征在于，包括：

獲取工藝流程參數管理表中的工藝數據，其中，所述工藝流程參數管理表中包括配置的工藝數據，該工藝數據包括工藝步驟及對應工藝步驟下的工藝參數；

通過基于OPC協議的數據通訊，對獲取到的工藝數據進行封裝，并將封裝后的工藝數據發送給工業組態監控設備，以使所述工業組態監控設備根據所述工藝步驟和工藝參數控制與其相連的工藝設備執行對應的工藝操作。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

在所述工藝設備執行工藝操作過程中，獲取所述工業組態監控設備從所述工藝設備監測到的工藝操作狀態實時信息，其中，所述工藝操作狀態實時信息包括正在執行的工藝步驟及對應工藝步驟下的實際工藝參數；

將所述工藝操作狀態實時信息中正在執行的工藝步驟和實際工藝參數，與所述已配置的工藝數據中的工藝步驟和工藝參數，進行對比；

根據所述對比結果，反向控制所述工業組態監控設備調整正在執行的工藝操作。

3.如權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述工藝流程參數管理表包括用于數據處理和統計分析的EXCEL表。

4.如權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述工業組態監控設備包括用于從工藝設備獲取工藝操作狀態實時信息和命令工藝設備執行工藝操作的可編程控制器，以及組態軟件。

5.如權利要求2所述的方法，其特征在于，，還包括：

獲取所述工藝組態監控設備根據所述工藝操作狀態實時信息生成的至少一個統計圖表；

通過基于所述OPC協議的數據通訊，將所述獲取的至少一個統計圖表發送給所述工藝流程參數管理表。

6.如權利要求2所述的方法，其特征在于，在所述工藝設備執行工藝操作過程中，獲取所述工業組態監控設備從所述工藝設備監測到的工藝操作狀態實時信息之后，還包括：

指示所述工藝流程參數管理表實時存儲所述工藝操作狀態實時信息以備監控人員分析改進工藝操作過程。

7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

當所述工藝流程參數管理表中包括至少兩批工藝數據時，接收監控人員通過所述工藝參數管理表提供的下拉菜單所選擇的控制指令；

通過基于OPC協議的數據通信，將所述控制指令進行封裝后發送給所述工業組態監控設備使工藝設備根據所述控制指令處理所述控制指令指示批次的工藝數據；

其中，所述控制指令包括運行或停止某個批次的工藝數據。

8.一種等離子體處理的工藝控制裝置，其特征在于，包括：

工藝數據獲取模塊，用于獲取工藝流程參數管理表中的工藝數據，其中，所述工藝流程參數管理表中包括配置的工藝數據，該工藝數據包括工藝步驟及對應工藝步驟下的工藝參數；

工藝數據發送模塊，用于通過基于OPC協議的數據通訊，對所述工藝數據獲取模塊獲取到的工藝數據進行封裝，并將封裝后的工藝數據發送給工業組態監控設備，以使所述工業組態監控設備根據所述工藝步驟和工藝參數控制與其相連的工藝設備執行對應的工藝操作。

9.如權利要求8所述的裝置，其特征在于，還包括：

工藝操作狀態實時信息獲取模塊，用于在所述工藝設備執行工藝操作過程中，獲取所述工業組態監控設備從所述工藝設備監測到的工藝操作狀態實時信息，其中，所述工藝操作狀態實時信息包括正在執行的工藝步驟及對應工藝步驟下實際工藝參數；

對比模塊，用于將所述工藝操作狀態實時信息中正在執行的工藝步驟和實際工藝參數，與所述已配置的工藝數據中的工藝步驟和工藝參數，進行對比；

控制模塊，用于根據所述對比結果，反向控制所述工業組態監控設備調整正在執行的工藝操作。

10.如權利要求8或9所述的裝置，其特征在于，所述工藝流程參數管理表包括用于數據處理和統計分析的EXCEL表；

所述工業組態監控設備包括用于從工藝設備獲取工藝操作狀態實時信息和命令工藝設備執行工藝操作的可編程控制器，以及組態軟件。