[發明專利]物理量檢測元件以及物理量檢測裝置

有效

• 申請號: 201410171190.3
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN104122015B
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 中根健智;羽迫義浩;島津侑宜
• 申請（專利權）人: 三美電機株式會社
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18;G01L9/06
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強

本發明提供一種無論玻璃基板的厚度如何都能夠抑制輸出變動量的物理量檢測元件等。本物理量檢測元件具有：玻璃基板；具備物理量檢測部的基板；通過在上述玻璃基板的一方的面接合上述基板而形成的密封的空間；以及形成于上述玻璃基板的另一方的面且防止上述玻璃基板的另一方的面與大氣中水分的接觸的功能膜。

技術領域

本發明涉及物理量檢測元件以及物理量檢測裝置。

背景技術

以往，公知有如下表壓傳感器，即、在玻璃基板的上表面接合有具有隔膜的硅基板。在這種表壓傳感器中，在玻璃基板上設有使應該測定的介質的壓力通過硅基板的貫通孔。而且，在玻璃基板的下表面(背面)形成有金屬膜，該金屬膜用于將表壓傳感器通過軟釬料固定在金屬基座上。用于進行軟釬焊的金屬膜公開有如下技術，即、優選層疊種類不同的多個膜，做成難以因玻璃基板所含的鈉離子而劣化的結構(例如，參照專利文獻1～3)。

另一方面，公知有如下的絕對壓力傳感器，即、與上述的表壓傳感器不同，在玻璃基板的上表面接合有具有隔膜的硅基板，并使用了形成有由硅基板和玻璃基板密封的空間的物理量檢測元件。例如，在隔膜形成有惠斯登電橋電路，該惠斯登電橋電路使用了電阻值根據施加的應力而變化的四個壓電電阻元件。

在這種絕對壓力傳感器中，物理量檢測元件的玻璃基板的下表面(背面)通過粘接劑固定在基板等上。硅基板的厚度例如是1mm左右、玻璃基板的厚度例如是1mm左右、物理量檢測元件的總厚度例如是2mm左右。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2000－241274號公報

專利文獻2：日本特開平2－272339號公報

專利文獻3：日本特公平6－76938號公報

發明內容

發明所要解決的課題

可是，對于上述這樣的絕對壓力傳感器而言，對向便攜式電話機那樣的小型設備的裝載進行了研究，要求小型且低高度。因此，硅基板的厚度及玻璃基板的厚度均需要比以往大幅度地變薄。

然而，發明者發現，若玻璃基板的厚度比規定值薄，則隨著玻璃基板的厚度變薄，規定條件下的物理量檢測元件的輸出變動量(惠斯登電橋電路的輸出的變動量)變大。

本發明是鑒于上述問題點而提出的技術方案，課題是提供一種無論玻璃基板的厚度如何都能夠抑制輸出變動量的物理量檢測元件等。

用于解決課題的方案

本物理量檢測元件10的要件為，具有：玻璃基板30；具備物理量檢測部20的基板；通過在上述玻璃基板30的一方的面接合上述基板而形成的密封的空間23；以及形成于上述玻璃基板30的另一方的面，且防止上述玻璃基板30的另一方的面與大氣中水分的接觸的功能膜40。

此外，上述的參照符號是為了容易理解而附加的符號，只不過是一個例子而已，并不限定于圖示的形態。

本發明的效果如下。

根據公開的技術，能夠提供無論玻璃基板的厚度如何都能夠抑制輸出變動量的物理量檢測元件等。

附圖說明

圖1是例示了第1實施方式的物理量檢測元件的剖視圖。

圖2是例示了第1實施方式的物理量檢測元件的隔膜面的俯視圖。

圖3是例示了第1實施方式的物理量檢測元件的制造工序的圖。

圖4是例示物理量檢測元件的輸出變動量的玻璃基板的厚度依存性的圖(之一)。

圖5是例示物理量檢測元件的輸出變動量的玻璃基板的厚度依存性的圖(之二)。