[發明專利]物理量檢測元件以及物理量檢測裝置

有效

• 申請號: 201410171190.3
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN104122015B
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 中根健智;羽迫義浩;島津侑宜
• 申請（專利權）人: 三美電機株式會社
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18;G01L9/06
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強

1.一種物理量檢測元件，其特征在于，具有：

厚度為800μm以下的玻璃基板；

具備檢測絕對壓力的物理量檢測部的基板；

通過在上述玻璃基板的一方的面接合上述基板而形成的密封且保持為真空狀態的空間；以及

形成于上述玻璃基板的另一方的面，且防止上述玻璃基板的另一方的面與大氣中水分的接觸的功能膜。

2.一種物理量檢測元件，其特征在于，具備：

至少一方具有空腔部的厚度為800μm以下的兩個玻璃基板；

具備檢測加速度的物理量檢測部的基板；

通過在上述基板的兩面接合各個上述玻璃基板的一方的面而形成，且配置有上述物理量檢測部的被密封的空間；以及

僅形成于各個上述玻璃基板的另一方的面，且防止各個上述玻璃基板的另一方的面與大氣中水分的接觸的功能膜。

3.根據權利要求1或2所述的物理量檢測元件，其特征在于，

上述功能膜具有隔斷水分的性質以防止上述玻璃基板中的堿金屬離子與水分的接觸，并且具有阻礙上述堿金屬離子在玻璃基板中的移動的性質。

4.根據權利要求1或2所述的物理量檢測元件，其特征在于，

上述功能膜由包含金、鈦、氮化硅的任一種的膜構成。

5.根據權利要求1或2所述的物理量檢測元件，其特征在于，

上述玻璃基板的厚度為在上述基板的厚度以下。

6.根據權利要求1或2所述的物理量檢測元件，其特征在于，

上述基板由硅構成。

7.一種物理量檢測裝置，其特征在于，

裝載有權利要求1～6中任一項所述的物理量檢測元件。

8.根據權利要求7所述的物理量檢測裝置，其特征在于，

上述物理量檢測元件的上述功能膜側利用粘接樹脂固定在基板上。