[發(fā)明專利]半導(dǎo)體封裝所用錫球的清洗在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410171119.5 | 申請(qǐng)日： | 2014-04-25 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105013766A | 公開(kāi)（公告）日： | 2015-11-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 田永靜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 蘇州科技學(xué)院相城研究院 |
| 主分類號(hào)： | B08B7/00 | 分類號(hào)： | B08B7/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導(dǎo)體 封裝 所用 清洗 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.一種低溫等離子體對(duì)錫球表面進(jìn)行清洗，在反應(yīng)腔中先通入氬氣再通入氧氣，在陰、陽(yáng)電極上加上高頻高壓后，即發(fā)生輝光放電，產(chǎn)生氬等離子體和氧等離子體，氬等離子體和氧等離子體共同作用于旋轉(zhuǎn)筒內(nèi)的錫球表面，將錫球表面的有機(jī)污物氧化、分解。
2.根據(jù)權(quán)利要求書(shū)1所述的方法，其特征在于：用氬等離子體和氧等離子體共同作用。
3.根據(jù)權(quán)利要求書(shū)1所述的方法，其特征在于：旋轉(zhuǎn)筒壁有許多網(wǎng)眼，以利氣體流動(dòng)，網(wǎng)眼大小隨錫球大小而異。
4.根據(jù)權(quán)利要求書(shū)1所述的方法，其特征在于：錫球在旋轉(zhuǎn)筒內(nèi)翻滾。
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