[發明專利]一種防止二極管管芯臺面被污染的方法

在審

• 申請號: 201410170033.0
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN104064447A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 袁錕;王智;姚俊;趙志云
• 申請（專利權）人: 中國振華集團永光電子有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/329
• 代理公司: 貴陽中新專利商標事務所 52100
• 代理人: 劉楠

技術領域

本發明涉及一種防止二極管管芯臺面被污染的方法，屬于二極管制造技術領域。

背景技術

二極管是電子行業使用最廣泛的一種電子元件，為了確保二極管的質量，在制造過程需要對擴散后的硅片進行電壓檢測“打點”，“打點”后在硅片上形成管芯臺面，管芯臺面是二極管的核心，若被污染則會影響二極管的質量，因此需要在管芯臺面生成保護層以防止被污染。現有的保護層生成方法工藝復雜，所用時間較長，成本高。并且現有技術需要抽取樣片進行表面金屬化→芯片裂片→焊接→臺面腐蝕→臺面鈍化等后部工序，才能對擊穿電壓進行檢測，因此，現有的防止二極管管芯臺面被污染的方法不僅存在著工藝復雜、所用時間較長、成本高的問題，而且還存在著工序多、質量不易保證的問題。

發明內容

本發明的目的在于，提供一種防止二極管管芯臺面被污染的方法，以簡化生產工藝，縮短生產周期，降低生產成本，從而克服現有技術的不足。

本發明的技術方案：

一種防止二極管管芯臺面被污染的方法，該方法是在硅片“打點”形成管芯臺面后，將適量固態石蠟放在管芯臺面上，而后將硅片水平放入烘箱加熱，使石蠟由固態變為液態后沿管芯臺面流動并布滿整個管芯臺面后然后切斷烘箱電源，使硅片在烘箱內保持水平狀態自然冷卻至石蠟重新凝固成固態，通過管芯臺面表面的固態石蠟保護層隔絕管芯臺面與外界空氣的接觸，以達到防止管芯臺面被污染的目的。

前述方法中，所述將適量固態石蠟放在管芯臺面上，其適量是指石蠟由固態變為液態后可以布滿整個管芯臺面并不會從管芯臺面溢出為準。

前述方法中，所述石蠟采用含雜質較少的白蠟。

由于采用了上述技術方案，本發明與現有技術相比，本發明采用石蠟保護層替代現有保護層，大大簡化了加工工藝，有效地避免了原有工藝工序多、時間長、成本高的不足，并且本發明還有效地簡化了生產工藝、縮短了生產周期、大大降低了生產成本。

具體實施方式

下面結合實施例對本發明作進一步的詳細說明，但不作為對本發明的任何限制。

實施例

本發明的一種防止二極管管芯臺面被污染的方法為，該方法是在現有的硅片“打點”工藝形成管芯臺面后，將適量固態石蠟放在管芯臺面上，石蠟采用現有技術中的含雜質較少的白蠟；而后將硅片水平放入烘箱加熱，使石蠟由固態變為液態后沿管芯臺面流動并布滿整個管芯臺面后然后切斷烘箱電源，使硅片在烘箱內保持水平狀態自然冷卻至石蠟重新凝固成固態，通過管芯臺面表面的固態石蠟保護層隔絕管芯臺面與外界空氣的接觸，以達到防止管芯臺面被污染的目的。所述將適量固態石蠟放在管芯臺面上，其適量是指石蠟由固態變為液態后可以布滿整個管芯臺面并不會從管芯臺面溢出為準。