[發(fā)明專(zhuān)利]一種防止二極管管芯臺(tái)面被污染的方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410170033.0 | 申請(qǐng)日： | 2014-04-25 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN104064447A | 公開(kāi)（公告）日： | 2014-09-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 袁錕;王智;姚俊;趙志云 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中國(guó)振華集團(tuán)永光電子有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L21/02 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L21/02;H01L21/329 |
| 代理公司： | 貴陽(yáng)中新專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 52100 | 代理人： | 劉楠 |
| 地址： | 550018 貴州省*** | 國(guó)省代碼： | 貴州;52 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 防止 二極管 管芯 臺(tái)面 污染 方法 | ||
1. 一種防止二極管管芯臺(tái)面被污染的方法，其特征在于：該方法是在硅片“打點(diǎn)”形成管芯臺(tái)面后，將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺(tái)面上，而后將硅片水平放入烘箱加熱，使石蠟由固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后沿管芯臺(tái)面流動(dòng)并布滿整個(gè)管芯臺(tái)面后然后切斷烘箱電源，使硅片在烘箱內(nèi)保持水平狀態(tài)自然冷卻至石蠟重新凝固成固態(tài)，通過(guò)管芯臺(tái)面表面的固態(tài)石蠟保護(hù)層隔絕管芯臺(tái)面與外界空氣的接觸，以達(dá)到防止管芯臺(tái)面被污染的目的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述施工方法，其特征在于：所述將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺(tái)面上，其適量是指石蠟由固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后可以布滿整個(gè)管芯臺(tái)面并不會(huì)從管芯臺(tái)面溢出為準(zhǔn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述方法，其特征在于：所述石蠟采用含雜質(zhì)較少的白蠟。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
