[發(fā)明專(zhuān)利]一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410168891.1
• 申請(qǐng)日: 2014-04-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103924214B
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 俞冬雷;武利曙;徐昕
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 安徽亞格盛電子新材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/448
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/448
• 代理公司: 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243
• 代理人: 沈志海

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及MO源的供應(yīng)領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

MO源為高純金屬有機(jī)化合物，或叫化合物半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料，是先進(jìn)的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(簡(jiǎn)稱(chēng)MOCVD)、金屬有機(jī)分子束外延(簡(jiǎn)稱(chēng)MOMBE)等技術(shù)生長(zhǎng)半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料的支撐材料，其優(yōu)異的電學(xué)、光學(xué)和磁學(xué)等性能，可將半導(dǎo)體和集成電路推向更高的頻率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r是衡量一個(gè)國(guó)家電子信息技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。在我國(guó)MO源已被大量用于LED、太陽(yáng)能電池、航空航天技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域，是一項(xiàng)高新材料生產(chǎn)技術(shù)。隨著MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積技術(shù)）外延技術(shù)發(fā)展，設(shè)備大型化已經(jīng)成為必然趨勢(shì)，隨之而來(lái)的原材料供應(yīng)問(wèn)題越來(lái)越突出。MO源（金屬有機(jī)化合物）作為其中最重要的原材料，持續(xù)穩(wěn)定的MO供應(yīng)是提高M(jìn)OCVD設(shè)備使用效率的重要手段。

現(xiàn)如今的MO源使用方法：MO源在使用時(shí)需要保持恒溫（±0.1℃），恒壓（±1torr），穩(wěn)定氣體流量（±1sccm），MO源存儲(chǔ)在鋼瓶（一般稱(chēng)為鼓泡器）中，惰性氣體（一般用氫氣或者氮?dú)猓┩ㄟ^(guò)深入鋼瓶?jī)?nèi)部的管道進(jìn)入鼓泡器中，經(jīng)過(guò)MO源時(shí)產(chǎn)生鼓泡效應(yīng)，MO源在鼓泡過(guò)程中大量蒸發(fā)，形成MO源的飽和蒸汽與惰性氣體混合輸送出來(lái)，這樣的供應(yīng)方式在鼓泡器中MO源消耗完后，需要將鼓泡器拆卸并更換1個(gè)新的鼓泡器。由于MO源具有可燃性和遇空氣自燃的特性，因此鼓泡器拆裝過(guò)程需要對(duì)管道系統(tǒng)進(jìn)行充分置換，并且需要對(duì)管道接頭進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏。操作過(guò)程繁瑣，持續(xù)時(shí)間較長(zhǎng)，且操作不當(dāng)會(huì)有著火等風(fēng)險(xiǎn)；更換新的鼓泡器后，需要在恒溫水浴槽中進(jìn)行充分的熱交換，需要較長(zhǎng)時(shí)間才能夠使鼓泡器的溫度達(dá)到恒定，鼓泡器中MO源沒(méi)有計(jì)量和監(jiān)控設(shè)備，無(wú)法準(zhǔn)確判斷殘余量。因此解決上述問(wèn)題就顯得十分必要了。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，通過(guò)設(shè)置MO源儲(chǔ)存罐往MO源鋼瓶充MO源氣，兩個(gè)裝置都設(shè)置有液位探頭，MO源儲(chǔ)存罐加熱，MO源鋼瓶恒溫，MO源儲(chǔ)罐溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫；當(dāng)MO源鋼瓶液位高時(shí)，便直接從MO源鋼瓶?jī)?nèi)輸出MO源；當(dāng)MO源鋼瓶處于低液位時(shí)，便采用MO源儲(chǔ)存罐向MO源鋼瓶輸送MO源，再?gòu)腗O源鋼瓶輸出MO源，可連續(xù)使用，解決了背景技術(shù)中出現(xiàn)的問(wèn)題。

本發(fā)明的目的是提供一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，包括兩個(gè)MO源儲(chǔ)存罐，一個(gè)正常使用、另一個(gè)備用，還有MO源鋼瓶，在兩個(gè)MO源儲(chǔ)存罐上左側(cè)設(shè)置帶有進(jìn)氣閥門(mén)的進(jìn)氣管、右側(cè)設(shè)置帶有出氣閥門(mén)的出氣管；在兩個(gè)MO源儲(chǔ)存罐內(nèi)都設(shè)置有液位探頭探測(cè)液位、外部都設(shè)置有有加熱包對(duì)MO源儲(chǔ)存罐進(jìn)行加熱；同時(shí)還在兩個(gè)MO源儲(chǔ)存罐的進(jìn)氣管上還設(shè)置有總進(jìn)氣管，出氣管上設(shè)置有總出氣管，在總出氣管上設(shè)置有至少3個(gè)分支氣管連接在底部外設(shè)置有恒溫水浴槽MO源鋼瓶上，MO源鋼瓶頂部也設(shè)置有液位探頭探測(cè)液位；MO源鋼瓶頂部右側(cè)設(shè)置有出源管。

進(jìn)一步改進(jìn)在于：在分支氣管上設(shè)置有流量控制器控制氣體流量，出源管上設(shè)置壓力控制器控制壓力。

進(jìn)一步改進(jìn)在于：在總進(jìn)氣管上第一分支氣管的左側(cè)設(shè)置第二分支氣管進(jìn)高純載氣，第二分支氣管連接在第一分支氣管上，流量控制器在，第二分支氣管的后面，在第一分支氣管和第二分支氣管上均設(shè)置有控制閥門(mén)控制閥門(mén)的開(kāi)啟進(jìn)氣。

進(jìn)一步改進(jìn)在于：在第一分支氣管上流量控制器下的右側(cè)設(shè)置有第三分支氣管，第三分支氣管連接在出源管上，這樣第一分支氣管和第二分支氣管來(lái)的氣體直接出去，第三分支氣管上設(shè)置有控制閥門(mén)。

進(jìn)一步改進(jìn)在于：在第一分支氣管上位于第三分支氣管下從上到下依次設(shè)置有控制閥門(mén)和支管進(jìn)氣閥門(mén)，出源管上位于第三分支氣管下設(shè)置有兩個(gè)出源閥門(mén)。

進(jìn)一步改進(jìn)在于：在MO源鋼瓶上的液位探頭以及控制閥門(mén)均連接有PLC控制器控制它們的開(kāi)啟關(guān)閉。

本發(fā)明的有益效果：本系統(tǒng)通過(guò)在MO源儲(chǔ)存罐和MO源鋼瓶增加液位探頭，滿足了MO源監(jiān)控計(jì)量問(wèn)題，客戶可以直觀的了解到MO源的使用現(xiàn)狀；通過(guò)設(shè)備自帶的MO源鋼瓶（低溫恒溫鼓泡器）可以有效控制MO源蒸汽濃度，因此MO源儲(chǔ)罐溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫，整個(gè)過(guò)程只需要根據(jù)MO源鋼瓶（低溫恒溫鼓泡器）液位控制切換使用模式，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程一直保持持續(xù)供源，因此沒(méi)有MO源恒溫的問(wèn)題，適用于MO源供應(yīng)中。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的示意圖。