[發(fā)明專利]一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410168891.1
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN103924214B
• 公開（公告）日: 2016-11-16
• 發(fā)明（設計）人: 俞冬雷;武利曙;徐昕
• 申請（專利權）人: 安徽亞格盛電子新材料有限公司
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448
• 代理公司: 南京正聯(lián)知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 沈志海

1.一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應系統(tǒng)，包括有第一MO源儲存罐（1）、第二MO源儲存罐（2）和MO源鋼瓶（3），其特征在于：所述第一MO源儲存罐（1）和第二MO源儲存罐（2）上左側垂直位置設置有高純載氣的進氣管（4）、右側設置有高純載氣出氣管（5）；高純載氣進氣管（4）在進口處設置有進氣閥門（6），高純載氣出氣管（4）在出口處設置有出氣閥門（7）；第一MO源儲存罐（1）和第二MO源儲存罐（2）內頂部均設置有液位探頭（8）、外部包有加熱包（9）；所述第一MO源儲存罐（1）和第二MO源儲存罐（2）的高純載氣進氣管（4）上水平位置設置總進氣管（10），高純載氣出氣管（5）上水平位置設置有總出氣管（11）；總出氣管（11）上設置有至少3個第一分支氣管（12），第一分支氣管（12）連接著MO源鋼瓶（3），MO源鋼瓶（3）底部外設置有恒溫水浴槽（13）、頂部也設置有液位探頭（8）；MO源鋼瓶（3）頂部右側設置有出源管（14）。

2.如權利要求1所述一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應系統(tǒng)，其特征在于：所述第一分支氣管（12）上設置有流量控制器（15），出源管（14）上末段設置有壓力控制器（16）。

3.如權利要求1所述一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應系統(tǒng)，其特征在于：所述總進氣管（10）上在第一分支氣管（12）的左側設置有第二分支氣管（17），第二分支氣管（17）連接在位于流量控制器（15）前端的第一分支氣管（12）上，第一分支氣管（12）和第二分支氣管（17）上均設置有控制閥門（18）。

4.如權利要求2所述一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應系統(tǒng)，其特征在于：所述第一分支氣管（12）上流量控制器（15）下的右側設置有第三分支氣管（19），第三分支氣管（19）連接在出源管（14）上，第三分支氣管（19）上設置有控制閥門（18）。

5.如權利要求4所述一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應系統(tǒng)，其特征在于：所述第一分支氣管（12）上位于第三分支氣管（19）下從上到下依次設置有控制閥門（18）和支管進氣閥門（20），出源管（14）上位于第三分支氣管（19）下設置有兩個出源閥門（21）。

6.如權利要求3或4或5所述一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應系統(tǒng)，其特征在于：所述MO源鋼瓶（3）上的液位探頭（8）以及控制閥門（18）均連接有PLC控制器（22）。