[發(fā)明專利]一種可變反射率鏡無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410167983.8 | 申請日: | 2014-04-24 |
| 公開(公告)號: | CN104407405A | 公開(公告)日: | 2015-03-11 |
| 發(fā)明(設計)人: | 張東平;朱茂東;李巖;劉毅;范平;梁廣興;鄭壯豪;羅景庭 | 申請(專利權)人: | 深圳大學 |
| 主分類號: | G02B5/08 | 分類號: | G02B5/08;G02F1/01 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518060 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 可變 反射率 | ||
1.一種紅外反射率可變反射鏡,其特征在于其膜系結構為Substrate/M(HL)^n/Air,其中Substrate代表襯底1,M代表導電膜層2,H代表光學厚度為λ0/4的VO2膜層3,L代表光學厚度為λ0/4的SiO2膜層4,n代表周期數,其數值大小根據實際需要設定為任意整數,Air代表空氣,λ0代表工作波長,λ0具體數值根據實際需要設定。?
2.按照權利要求1所述的所述的一種紅外反射率可變反射鏡,其特征在于在拋光的基底1上沉積一層導電膜層2,以作為加熱層。?
3.按照權利要求1所述的所述的一種紅外反射率可變反射鏡,其特征在于在加熱層2表面沉積一層光學厚度為λ0/4的VO2薄膜3,以作為相變層,然后在相變層3上沉積一層光學厚度為λ0/4的SiO2薄膜4,以作為低折射率層。?
4.按照權利要求1所述的所述的一種紅外反射率可變反射鏡,其特征在于VO2相變層3和SiO2低折射率層共鍍制n個周期,周期數n,其數值大小根據實際需要設定為任意整數。?
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