[發(fā)明專利]一種可變反射率鏡

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410167983.8
• 申請日: 2014-04-24
• 公開（公告）號: CN104407405A
• 公開（公告）日: 2015-03-11
• 發(fā)明（設計）人: 張東平;朱茂東;李巖;劉毅;范平;梁廣興;鄭壯豪;羅景庭
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: G02B5/08
• 分類號: G02B5/08;G02F1/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發(fā)明與光學反射鏡相關，特別是基于光干涉原理的紅外多層膜光學反射鏡相關。?

技術背景

本發(fā)明涉及一種光學反射鏡，尤其是紅外光學反射鏡。?

反射鏡是對光進行反射的一種裝置，紅外反射鏡是紅外光進行反射的一種重要的光學元件，廣泛應用于激光器、遙感、通信、分析儀器、激光加工等領域。一般情況下，紅外反射鏡對特定波長的反射率通常是一定的。在實際應用中有時需要改變反射率時，一般的辦法就是更換反射鏡，或者在反射鏡前增加衰減裝置調節(jié)反射率，這不但使裝置復雜化，增加了操作的難度，同時也非常不便。本發(fā)明設計了一種紅外光反射率可以調節(jié)的反射鏡，其反射率可以通過對反射鏡溫度的調節(jié)而調節(jié)，非常方便實用。?

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是提供一種對紅外光反射率可調節(jié)的反射鏡。其膜系結構為Substrate/M(HL)^ⁿ/Air，其中Substrate代表玻璃襯底1，M代表導電膜層2，H代表光學厚度為λ₀/4的VO₂膜層3，L代表光學厚度為λ₀/4的SiO₂膜層4，n代表周期數，n具體數值根據實際需要設定，Air代表空氣，λ₀代表工作波長，λ₀具體數值根據實際需要設定。其具體結構如附圖1所示，具體實施步驟如下：?

1.在拋光的基底1上沉積一層導電膜層2，以作為加熱層?

2.再在加熱層2表面沉積一層光學厚度為λ₀/4的VO₂薄膜3，以作為相變層?

3.然后在相變層3上沉積一層光學厚度為λ₀/4的SiO₂薄膜4，以作為低折射率層?

4.如此反復，VO₂相變層3和SiO₂低折射率層4共鍍制n個周期?

由于VO₂具有熱致相變特性，隨著溫度的變化，其紅外波段折射率發(fā)生明顯變化，根據光學薄膜理論，其反射率和反射帶寬也將發(fā)生變化。本反射鏡是一種紅外可變反射率鏡。?

本發(fā)明具有以下技術效果：?

1.對紅外光反射率可以通過給導電層通電流加熱改變反射率；?

2.該反射鏡工作波長范圍很大，可根據實際需要設定波長；?

3.該反射鏡性能穩(wěn)定性好。?

附圖說明

圖1為本發(fā)明的膜系結構示意圖?

圖2為本發(fā)明實施例中三個不同溫度下的反射率曲線?

具體實施方式

在拋光的K9玻璃基底1上沉積一層導電膜層2，以作為加熱層，再在加熱層2表面沉積一層光學厚度為λ₀/4的VO₂薄膜3，以作為相變層，然后在相變層3上沉積一層光學厚度為λ₀4的SiO₂薄膜4，以作為低折射率層，如此反復，VO₂相變層3和SiO₂低折射率層4共鍍制4個周期，其中λ₀為1550nm。給導電層2通以不同大小的電流，測得3個不同溫度T1、T2、T3下的光譜反射率曲線見附圖2。